OpenROAD/test/asap7/rcx_patterns.rules

Extraction Rules for OpenRCX

DIAGMODEL ON

LayerCount 10
DensityRate 1  0

DensityModel 0

Metal 1 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 1 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.018
0 0 0 0.031287
0 0.018 0 0.031287
0 0.036 0 0.031287
0 0.045 0 0.031287
0 0.054 0 0.031287
0 0.072 0 0.031287
0 0.081 0 0.031287
0 0.09 0 0.031287
0 0.108 0 0.031287
0 0.144 0 0.031287
0.018 0.018 0 0.031287
0.018 0.036 0 0.031287
0.018 0.045 0 0.031287
0.018 0.054 0 0.031287
0.018 0.072 0 0.031287
0.018 0.081 0 0.031287
0.018 0.09 0 0.031287
0.018 0.108 0 0.031287
0.018 0.144 0 0.031287
0.036 0.036 0 0.031287
0.036 0.045 0 0.031287
0.036 0.054 0 0.031287
0.036 0.072 0 0.031287
0.036 0.081 0 0.031287
0.036 0.09 0 0.031287
0.036 0.108 0 0.031287
0.036 0.144 0 0.031287
0.045 0.045 0 0.031287
0.045 0.054 0 0.031287
0.045 0.072 0 0.031287
0.045 0.081 0 0.031287
0.045 0.09 0 0.031287
0.045 0.108 0 0.031287
0.045 0.144 0 0.031287
0.054 0.054 0 0.031287
0.054 0.072 0 0.031287
0.054 0.081 0 0.031287
0.054 0.09 0 0.031287
0.054 0.108 0 0.031287
0.054 0.144 0 0.031287
0.072 0.072 0 0.031287
0.072 0.081 0 0.031287
0.072 0.09 0 0.031287
0.072 0.108 0 0.031287
0.072 0.144 0 0.031287
0.081 0.081 0 0.031287
0.081 0.09 0 0.031287
0.081 0.108 0 0.031287
0.081 0.144 0 0.031287
0.09 0.09 0 0.031287
0.09 0.108 0 0.031287
0.09 0.144 0 0.031287
0.108 0.108 0 0.031287
0.108 0.144 0 0.031287
0.144 0 0.144 0.031287
END DIST

Metal 1 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 1 OVER 0
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.49676e-05 1.51331e-05 0.0156435
0.036 5.54237e-05 1.71262e-05 0.0156435
0.045 4.63196e-05 1.864e-05 0.0156435
0.054 4.025e-05 1.96493e-05 0.0156435
0.063 3.55326e-05 3.03438e-05 0.0156435
0.072 3.22848e-05 2.12882e-05 0.0156435
0.081 2.90397e-05 2.25243e-05 0.0156435
0.09 2.64419e-05 2.35127e-05 0.0156435
0.108 0 4.81308e-05 0.0156435
0.144 0 4.99271e-05 0.0156435
0.18 0 4.03356e-05 0.0156435
0.216 0 4.99271e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 1 UNDER 2
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.791e-05 3.2986e-05 0.0156435
0.036 4.77014e-05 2.91829e-05 0.0156435
0.045 3.77752e-05 3.2942e-05 0.0156435
0.054 3.116e-05 3.54478e-05 0.0156435
0.063 2.62961e-05 3.73759e-05 0.0156435
0.072 0 6.41044e-05 0.0156435
0.081 0 6.33146e-05 0.0156435
0.09 0 6.26814e-05 0.0156435
0.108 0 6.17016e-05 0.0156435
0.144 0 6.15856e-05 0.0156435
0.18 0 6.10535e-05 0.0156435
0.216 0 6.06411e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 3
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.22478e-05 1.81193e-05 0.0156435
0.036 5.3014e-05 2.91854e-05 0.0156435
0.045 4.32203e-05 2.27084e-05 0.0156435
0.054 3.66924e-05 2.44085e-05 0.0156435
0.063 3.18681e-05 2.57835e-05 0.0156435
0.072 2.70947e-05 2.84663e-05 0.0156435
0.081 2.34147e-05 3.05681e-05 0.0156435
0.09 0 5.27697e-05 0.0156435
0.108 0 5.07602e-05 0.0156435
0.144 0 4.59457e-05 0.0156435
0.18 0 4.6383e-05 0.0156435
0.216 0 4.69316e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 4
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.28359e-05 1.71424e-05 0.0156435
0.036 5.43237e-05 1.84989e-05 0.0156435
0.045 4.45764e-05 2.08519e-05 0.0156435
0.054 3.80788e-05 2.24202e-05 0.0156435
0.063 3.32269e-05 2.375e-05 0.0156435
0.072 2.97802e-05 2.45556e-05 0.0156435
0.081 2.60998e-05 3.5545e-05 0.0156435
0.09 2.31547e-05 2.79457e-05 0.0156435
0.108 0 4.88543e-05 0.0156435
0.144 0 4.23308e-05 0.0156435
0.18 0 4.25383e-05 0.0156435
0.216 0 4.28054e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 5
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.34632e-05 1.63692e-05 0.0156435
0.036 5.54167e-05 1.71609e-05 0.0156435
0.045 4.58705e-05 2.84328e-05 0.0156435
0.054 3.95072e-05 2.05776e-05 0.0156435
0.063 3.46642e-05 2.18529e-05 0.0156435
0.072 3.12897e-05 3.1773e-05 0.0156435
0.081 2.77016e-05 2.42627e-05 0.0156435
0.09 2.48308e-05 3.48543e-05 0.0156435
0.108 0 4.80716e-05 0.0156435
0.144 0 4.1205e-05 0.0156435
0.18 0 4.13471e-05 0.0156435
0.216 0 5.07625e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 6
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.3905e-05 1.59966e-05 0.0156435
0.036 5.59934e-05 1.64641e-05 0.0156435
0.045 4.6549e-05 1.83588e-05 0.0156435
0.054 4.02543e-05 1.96528e-05 0.0156435
0.063 3.53656e-05 2.09155e-05 0.0156435
0.072 3.20304e-05 2.15858e-05 0.0156435
0.081 2.8509e-05 2.31805e-05 0.0156435
0.09 2.56948e-05 2.44802e-05 0.0156435
0.108 0 4.76935e-05 0.0156435
0.144 0 4.07583e-05 0.0156435
0.18 0 4.08737e-05 0.0156435
0.216 0 4.10326e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 7
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.41644e-05 1.54919e-05 0.0156435
0.036 5.6347e-05 1.60508e-05 0.0156435
0.045 4.70253e-05 1.77987e-05 0.0156435
0.054 4.08124e-05 1.89931e-05 0.0156435
0.063 3.59235e-05 2.02489e-05 0.0156435
0.072 3.262e-05 2.0876e-05 0.0156435
0.081 2.91574e-05 2.23887e-05 0.0156435
0.09 2.63866e-05 2.36216e-05 0.0156435
0.108 0 4.74222e-05 0.0156435
0.144 0 4.98346e-05 0.0156435
0.18 0 4.05696e-05 0.0156435
0.216 0 4.06931e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 8
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.49676e-05 1.51331e-05 0.0156435
0.036 5.54237e-05 1.71262e-05 0.0156435
0.045 4.63196e-05 1.864e-05 0.0156435
0.054 4.025e-05 1.96493e-05 0.0156435
0.063 3.55326e-05 2.07523e-05 0.0156435
0.072 3.22848e-05 2.12882e-05 0.0156435
0.081 2.90397e-05 2.25243e-05 0.0156435
0.09 2.64419e-05 2.35127e-05 0.0156435
0.108 0 4.81308e-05 0.0156435
0.144 0 4.99271e-05 0.0156435
0.18 0 4.03356e-05 0.0156435
0.216 0 4.99271e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.49676e-05 1.51331e-05 0.0156435
0.036 5.54237e-05 1.71262e-05 0.0156435
0.045 4.63196e-05 2.82315e-05 0.0156435
0.054 4.025e-05 2.92407e-05 0.0156435
0.063 3.55326e-05 2.07523e-05 0.0156435
0.072 3.22848e-05 2.12882e-05 0.0156435
0.081 2.90397e-05 3.21157e-05 0.0156435
0.09 2.64419e-05 2.35127e-05 0.0156435
0.108 0 4.81308e-05 0.0156435
0.144 0 4.03356e-05 0.0156435
0.18 0 4.03356e-05 0.0156435
0.216 0 4.03356e-05 0.0156435
END DIST

Metal 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 1 DIAGUNDER 2
DIST count 13 width 0.018
0 0 2.20833e-05 0.0156435
0.018 0 2.03449e-05 0.0156435
0.036 0 1.72639e-05 0.0156435
0.045 0 1.62801e-05 0.0156435
0.054 0 1.52951e-05 0.0156435
0.063 0 1.43113e-05 0.0156435
0.072 0 1.33275e-05 0.0156435
0.081 0 1.23426e-05 0.0156435
0.09 0 1.17245e-05 0.0156435
0.108 0 0 0.0156435
0.144 0 0 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 3
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0156435
0.018 0 0 0.0156435
0.036 0 0 0.0156435
0.045 0 0 0.0156435
0.054 0 0 0.0156435
0.063 0 0 0.0156435
0.072 0 0 0.0156435
0.081 0 0 0.0156435
0.09 0 0 0.0156435
0.108 0 0 0.0156435
0.144 0 0 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 4
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0156435
0.018 0 0 0.0156435
0.036 0 0 0.0156435
0.045 0 0 0.0156435
0.054 0 0 0.0156435
0.063 0 0 0.0156435
0.072 0 0 0.0156435
0.081 0 0 0.0156435
0.09 0 0 0.0156435
0.108 0 0 0.0156435
0.144 0 0 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 5
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0156435
0.018 0 0 0.0156435
0.036 0 0 0.0156435
0.045 0 0 0.0156435
0.054 0 0 0.0156435
0.063 0 0 0.0156435
0.072 0 0 0.0156435
0.081 0 0 0.0156435
0.09 0 0 0.0156435
0.108 0 0 0.0156435
0.144 0 0 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 6
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 7
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 8
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 9
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 1 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 2 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 2 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.018
0 0 0 0.0297125
0 0.027 0 0.0297125
0 0.045 0 0.0297125
0 0.063 0 0.0297125
0 0.072 0 0.0297125
0 0.09 0 0.0297125
0 0.108 0 0.0297125
0 0.117 0 0.0297125
0 0.135 0 0.0297125
0 0.18 0 0.0297125
0.027 0.027 0 0.0297125
0.027 0.045 0 0.0297125
0.027 0.063 0 0.0297125
0.027 0.072 0 0.0297125
0.027 0.09 0 0.0297125
0.027 0.108 0 0.0297125
0.027 0.117 0 0.0297125
0.027 0.135 0 0.0297125
0.027 0.18 0 0.0297125
0.045 0.045 0 0.0297125
0.045 0.063 0 0.0297125
0.045 0.072 0 0.0297125
0.045 0.09 0 0.0297125
0.045 0.108 0 0.0297125
0.045 0.117 0 0.0297125
0.045 0.135 0 0.0297125
0.045 0.18 0 0.0297125
0.063 0.063 0 0.0297125
0.063 0.072 0 0.0297125
0.063 0.09 0 0.0297125
0.063 0.108 0 0.0297125
0.063 0.117 0 0.0297125
0.063 0.135 0 0.0297125
0.063 0.18 0 0.0297125
0.072 0.072 0 0.0297125
0.072 0.09 0 0.0297125
0.072 0.108 0 0.0297125
0.072 0.117 0 0.0297125
0.072 0.135 0 0.0297125
0.072 0.18 0 0.0297125
0.09 0.09 0 0.0297125
0.09 0.108 0 0.0297125
0.09 0.117 0 0.0297125
0.09 0.135 0 0.0297125
0.09 0.18 0 0.0297125
0.108 0.108 0 0.0297125
0.108 0.117 0 0.0297125
0.108 0.135 0 0.0297125
0.108 0.18 0 0.0297125
0.117 0.117 0 0.0297125
0.117 0.135 0 0.0297125
0.117 0.18 0 0.0297125
0.135 0.135 0 0.0297125
0.135 0.18 0 0.0297125
0.18 0 0.18 0.0297125
END DIST

Metal 2 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 2 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 2 OVER 0
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.61991e-05 8.84607e-06 0.0148563
0.036 5.70995e-05 1.0235e-05 0.0148563
0.045 4.82825e-05 1.12292e-05 0.0148563
0.054 4.2403e-05 1.18924e-05 0.0148563
0.063 3.82035e-05 1.23657e-05 0.0148563
0.072 3.5053e-05 2.12511e-05 0.0148563
0.081 3.15183e-05 1.39919e-05 0.0148563
0.09 2.90209e-05 2.19537e-05 0.0148563
0.108 2.52755e-05 1.5706e-05 0.0148563
0.144 0 3.83553e-05 0.0148563
0.18 0 3.1316e-05 0.0148563
0.216 0 3.1316e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.71921e-05 1.88692e-05 0.0148563
0.036 4.79885e-05 2.41921e-05 0.0148563
0.045 3.85878e-05 2.73866e-05 0.0148563
0.054 3.23216e-05 2.95162e-05 0.0148563
0.063 2.78472e-05 3.1037e-05 0.0148563
0.072 2.44885e-05 3.21782e-05 0.0148563
0.081 0 6.64082e-05 0.0148563
0.09 0 5.46435e-05 0.0148563
0.108 0 5.32928e-05 0.0148563
0.144 0 5.19768e-05 0.0148563
0.18 0 4.87222e-05 0.0148563
0.216 0 4.92685e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 2 UNDER 3
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000108405 3.01539e-05 0.0148563
0.036 5.84792e-05 3.64132e-05 0.0148563
0.045 4.60044e-05 4.15938e-05 0.0148563
0.054 3.769e-05 4.50486e-05 0.0148563
0.063 3.175e-05 4.75162e-05 0.0148563
0.072 2.72938e-05 4.93657e-05 0.0148563
0.081 0 7.5515e-05 0.0148563
0.09 0 7.45984e-05 0.0148563
0.108 0 7.32222e-05 0.0148563
0.144 0 7.15567e-05 0.0148563
0.18 0 7.14352e-05 0.0148563
0.216 0 7.10208e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER 4
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000115701 3.308e-05 0.0148563
0.036 6.73494e-05 2.14306e-05 0.0148563
0.045 5.51205e-05 2.44722e-05 0.0148563
0.054 4.69672e-05 2.65012e-05 0.0148563
0.063 4.11456e-05 2.79491e-05 0.0148563
0.072 3.67781e-05 2.90359e-05 0.0148563
0.081 3.20304e-05 3.15856e-05 0.0148563
0.09 2.83797e-05 3.34769e-05 0.0148563
0.108 0 5.92211e-05 0.0148563
0.144 0 5.59306e-05 0.0148563
0.18 0 5.30671e-05 0.0148563
0.216 0 5.34178e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER 5
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000117931 2.66944e-05 0.0148563
0.036 7.04259e-05 1.75185e-05 0.0148563
0.045 5.86248e-05 1.98067e-05 0.0148563
0.054 5.07593e-05 2.13322e-05 0.0148563
0.063 4.51389e-05 2.24213e-05 0.0148563
0.072 4.09235e-05 2.32384e-05 0.0148563
0.081 3.61479e-05 2.54664e-05 0.0148563
0.09 3.25837e-05 3.55357e-05 0.0148563
0.108 2.72334e-05 2.92847e-05 0.0148563
0.144 0 5.26377e-05 0.0148563
0.18 0 4.64132e-05 0.0148563
0.216 0 4.68634e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER 6
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000118502 1.60069e-05 0.0148563
0.036 7.15696e-05 1.60023e-05 0.0148563
0.045 6.00443e-05 1.79664e-05 0.0148563
0.054 5.23611e-05 1.92743e-05 0.0148563
0.063 4.6875e-05 2.02095e-05 0.0148563
0.072 4.27594e-05 2.09109e-05 0.0148563
0.081 3.79236e-05 2.30926e-05 0.0148563
0.09 3.44535e-05 3.04628e-05 0.0148563
0.108 2.92476e-05 2.64641e-05 0.0148563
0.144 0 5.15949e-05 0.0148563
0.18 0 4.48623e-05 0.0148563
0.216 0 4.52118e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER 7
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000119153 1.53669e-05 0.0148563
0.036 7.23012e-05 1.51389e-05 0.0148563
0.045 6.09169e-05 2.41563e-05 0.0148563
0.054 5.33264e-05 1.80417e-05 0.0148563
0.063 4.7905e-05 1.88715e-05 0.0148563
0.072 4.38402e-05 1.94942e-05 0.0148563
0.081 3.90394e-05 2.15961e-05 0.0148563
0.09 3.56668e-05 3.13401e-05 0.0148563
0.108 3.06091e-05 2.46319e-05 0.0148563
0.144 2.40575e-05 2.69086e-05 0.0148563
0.18 0 4.39282e-05 0.0148563
0.216 0 4.42002e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER 8
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000119456 1.49201e-05 0.0148563
0.036 7.27035e-05 1.46968e-05 0.0148563
0.045 6.14094e-05 1.63137e-05 0.0148563
0.054 5.38799e-05 1.73912e-05 0.0148563
0.063 4.85027e-05 1.81609e-05 0.0148563
0.072 4.44674e-05 1.87373e-05 0.0148563
0.081 3.9678e-05 2.08044e-05 0.0148563
0.09 3.63586e-05 2.19468e-05 0.0148563
0.108 3.13794e-05 3.27082e-05 0.0148563
0.144 2.48356e-05 2.57951e-05 0.0148563
0.18 0 4.35694e-05 0.0148563
0.216 0 4.38009e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER 9
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000119257 1.51979e-05 0.0148563
0.036 7.29123e-05 1.44248e-05 0.0148563
0.045 6.16993e-05 1.59444e-05 0.0148563
0.054 5.42245e-05 1.69583e-05 0.0148563
0.063 4.88843e-05 1.76817e-05 0.0148563
0.072 4.48799e-05 1.82245e-05 0.0148563
0.081 4.0088e-05 2.02951e-05 0.0148563
0.09 3.68127e-05 2.13924e-05 0.0148563
0.108 3.18983e-05 3.20636e-05 0.0148563
0.144 2.53841e-05 2.51088e-05 0.0148563
0.18 0 4.33079e-05 0.0148563
0.216 0 4.35058e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 UNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 2 DIAGUNDER 3
DIST count 13 width 0.018
0 0 2.9e-05 0.0148563
0.018 0 2.54711e-05 0.0148563
0.036 0 2.30486e-05 0.0148563
0.045 0 2.1838e-05 0.0148563
0.054 0 2.06262e-05 0.0148563
0.063 0 1.94155e-05 0.0148563
0.072 0 1.82049e-05 0.0148563
0.081 0 1.69931e-05 0.0148563
0.09 0 1.62269e-05 0.0148563
0.108 0 1.51377e-05 0.0148563
0.144 0 1.29606e-05 0.0148563
0.18 0 0 0.0148563
0.216 0 0 0.0148563
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER 4
DIST count 13 width 0.018
0 0 1.53576e-05 0.0148563
0.018 0 1.52257e-05 0.0148563
0.036 0 1.46678e-05 0.0148563
0.045 0 1.43889e-05 0.0148563
0.054 0 1.41088e-05 0.0148563
0.063 0 1.38299e-05 0.0148563
0.072 0 1.35208e-05 0.0148563
0.081 0 1.32072e-05 0.0148563
0.09 0 1.28935e-05 0.0148563
0.108 0 1.22662e-05 0.0148563
0.144 0 0 0.0148563
0.18 0 0 0.0148563
0.216 0 0 0.0148563
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER 5
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0148563
0.018 0 0 0.0148563
0.036 0 0 0.0148563
0.045 0 0 0.0148563
0.054 0 0 0.0148563
0.063 0 0 0.0148563
0.072 0 0 0.0148563
0.081 0 0 0.0148563
0.09 0 0 0.0148563
0.108 0 0 0.0148563
0.144 0 0 0.0148563
0.18 0 0 0.0148563
0.216 0 0 0.0148563
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER 6
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0148563
0.018 0 0 0.0148563
0.036 0 0 0.0148563
0.045 0 0 0.0148563
0.054 0 0 0.0148563
0.063 0 0 0.0148563
0.072 0 0 0.0148563
0.081 0 0 0.0148563
0.09 0 0 0.0148563
0.108 0 0 0.0148563
0.144 0 0 0.0148563
0.18 0 0 0.0148563
0.216 0 0 0.0148563
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER 7
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER 8
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER 9
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 2 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 2 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 2 OVER 1 UNDER 3
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.125e-05 3.31978e-05 0.0148563
0.036 3.78934e-05 4.36379e-05 0.0148563
0.045 2.78101e-05 4.92616e-05 0.0148563
0.054 0 7.40986e-05 0.0148563
0.063 0 7.19749e-05 0.0148563
0.072 0 7.03811e-05 0.0148563
0.081 0 7.00403e-05 0.0148563
0.09 0 6.97674e-05 0.0148563
0.108 0 6.93588e-05 0.0148563
0.144 0 6.88367e-05 0.0148563
0.18 0 6.78983e-05 0.0148563
0.216 0 6.83497e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1 UNDER 4
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.54699e-05 2.4603e-05 0.0148563
0.036 4.50094e-05 3.17118e-05 0.0148563
0.045 3.48402e-05 3.60324e-05 0.0148563
0.054 2.80627e-05 5.14701e-05 0.0148563
0.063 2.32201e-05 4.09699e-05 0.0148563
0.072 0 7.45844e-05 0.0148563
0.081 0 6.12731e-05 0.0148563
0.09 0 6.06111e-05 0.0148563
0.108 0 5.96181e-05 0.0148563
0.144 0 5.83634e-05 0.0148563
0.18 0 5.71817e-05 0.0148563
0.216 0 5.76481e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1 UNDER 5
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000108919 2.71921e-05 0.0148563
0.036 5.92292e-05 3.47673e-05 0.0148563
0.045 4.68726e-05 3.95914e-05 0.0148563
0.054 3.86321e-05 5.25808e-05 0.0148563
0.063 3.27478e-05 4.51041e-05 0.0148563
0.072 2.83332e-05 5.65369e-05 0.0148563
0.081 2.40557e-05 4.98406e-05 0.0148563
0.09 0 7.28855e-05 0.0148563
0.108 0 7.13671e-05 0.0148563
0.144 0 6.94706e-05 0.0148563
0.18 0 6.72879e-05 0.0148563
0.216 0 6.79699e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1 UNDER 6
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.77199e-05 2.17488e-05 0.0148563
0.036 4.82987e-05 2.75278e-05 0.0148563
0.045 3.85671e-05 3.11446e-05 0.0148563
0.054 3.20811e-05 4.43782e-05 0.0148563
0.063 2.7447e-05 3.5279e-05 0.0148563
0.072 2.39722e-05 4.73935e-05 0.0148563
0.081 0 5.94957e-05 0.0148563
0.09 0 5.86575e-05 0.0148563
0.108 0 5.74002e-05 0.0148563
0.144 0 5.57799e-05 0.0148563
0.18 0 5.3808e-05 0.0148563
0.216 0 5.44132e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1 UNDER 7
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.71921e-05 2.25521e-05 0.0148563
0.036 4.79885e-05 2.7875e-05 0.0148563
0.045 3.85878e-05 3.10706e-05 0.0148563
0.054 3.23216e-05 4.40662e-05 0.0148563
0.063 2.78472e-05 3.47211e-05 0.0148563
0.072 2.44885e-05 4.66261e-05 0.0148563
0.081 0 5.92269e-05 0.0148563
0.09 0 5.83275e-05 0.0148563
0.108 0 5.69769e-05 0.0148563
0.144 0 5.56609e-05 0.0148563
0.18 0 5.24062e-05 0.0148563
0.216 0 5.29525e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1 UNDER 8
DIST count 12 width 0.018
0.018 0.000108991 2.72177e-05 0.0148563
0.036 5.99863e-05 4.22513e-05 0.0148563
0.045 4.82361e-05 3.78644e-05 0.0148563
0.054 4.04029e-05 4.05268e-05 0.0148563
0.063 3.48079e-05 4.24283e-05 0.0148563
0.072 3.06109e-05 4.38542e-05 0.0148563
0.081 2.64535e-05 5.63183e-05 0.0148563
0.09 2.34097e-05 4.85255e-05 0.0148563
0.108 0 7.02476e-05 0.0148563
0.144 0 6.86028e-05 0.0148563
0.18 0 6.45344e-05 0.0148563
0.216 0 6.52172e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.71921e-05 2.2552e-05 0.0148563
0.036 4.79885e-05 3.61909e-05 0.0148563
0.045 3.85878e-05 3.10696e-05 0.0148563
0.054 3.23216e-05 3.31989e-05 0.0148563
0.063 2.78472e-05 3.47212e-05 0.0148563
0.072 2.44885e-05 3.58609e-05 0.0148563
0.081 0 6.87967e-05 0.0148563
0.09 0 5.83264e-05 0.0148563
0.108 0 5.69771e-05 0.0148563
0.144 0 5.5661e-05 0.0148563
0.18 0 5.24061e-05 0.0148563
0.216 0 5.29527e-05 0.0148563
END DIST

Metal 2 OVER 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 3 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.018
0 0 0 0.031287
0 0.018 0 0.031287
0 0.036 0 0.031287
0 0.045 0 0.031287
0 0.054 0 0.031287
0 0.072 0 0.031287
0 0.081 0 0.031287
0 0.09 0 0.031287
0 0.108 0 0.031287
0 0.144 0 0.031287
0.018 0.018 0 0.031287
0.018 0.036 0 0.031287
0.018 0.045 0 0.031287
0.018 0.054 0 0.031287
0.018 0.072 0 0.031287
0.018 0.081 0 0.031287
0.018 0.09 0 0.031287
0.018 0.108 0 0.031287
0.018 0.144 0 0.031287
0.036 0.036 0 0.031287
0.036 0.045 0 0.031287
0.036 0.054 0 0.031287
0.036 0.072 0 0.031287
0.036 0.081 0 0.031287
0.036 0.09 0 0.031287
0.036 0.108 0 0.031287
0.036 0.144 0 0.031287
0.045 0.045 0 0.031287
0.045 0.054 0 0.031287
0.045 0.072 0 0.031287
0.045 0.081 0 0.031287
0.045 0.09 0 0.031287
0.045 0.108 0 0.031287
0.045 0.144 0 0.031287
0.054 0.054 0 0.031287
0.054 0.072 0 0.031287
0.054 0.081 0 0.031287
0.054 0.09 0 0.031287
0.054 0.108 0 0.031287
0.054 0.144 0 0.031287
0.072 0.072 0 0.031287
0.072 0.081 0 0.031287
0.072 0.09 0 0.031287
0.072 0.108 0 0.031287
0.072 0.144 0 0.031287
0.081 0.081 0 0.031287
0.081 0.09 0 0.031287
0.081 0.108 0 0.031287
0.081 0.144 0 0.031287
0.09 0.09 0 0.031287
0.09 0.108 0 0.031287
0.09 0.144 0 0.031287
0.108 0.108 0 0.031287
0.108 0.144 0 0.031287
0.144 0 0.144 0.031287
END DIST

Metal 3 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 3 OVER 0
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.68634e-05 1.11794e-05 0.0156435
0.036 5.7947e-05 1.22812e-05 0.0156435
0.045 4.93127e-05 1.30081e-05 0.0156435
0.054 4.35576e-05 1.34919e-05 0.0156435
0.063 3.94464e-05 1.38368e-05 0.0156435
0.072 3.63633e-05 1.40961e-05 0.0156435
0.081 3.29235e-05 1.51921e-05 0.0156435
0.09 3.05118e-05 1.57292e-05 0.0156435
0.108 2.68933e-05 1.65336e-05 0.0156435
0.144 0 4.0522e-05 0.0156435
0.18 0 3.20162e-05 0.0156435
0.216 0 3.20162e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 1
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.38383e-05 1.30995e-05 0.0156435
0.036 5.5734e-05 1.50324e-05 0.0156435
0.045 4.67226e-05 2.42362e-05 0.0156435
0.054 4.07131e-05 2.51413e-05 0.0156435
0.063 3.64213e-05 1.79445e-05 0.0156435
0.072 3.21501e-05 1.98693e-05 0.0156435
0.081 2.85543e-05 2.93335e-05 0.0156435
0.09 2.59536e-05 2.25082e-05 0.0156435
0.108 0 4.60877e-05 0.0156435
0.144 0 4.36387e-05 0.0156435
0.18 0 3.81608e-05 0.0156435
0.216 0 3.84467e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 2
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.9604e-05 1.92767e-05 0.0156435
0.036 5.0523e-05 2.35473e-05 0.0156435
0.045 4.13146e-05 3.39803e-05 0.0156435
0.054 3.51781e-05 3.57051e-05 0.0156435
0.063 3.07918e-05 3.69362e-05 0.0156435
0.072 2.4553e-05 3.53194e-05 0.0156435
0.081 0 5.87211e-05 0.0156435
0.09 0 5.77975e-05 0.0156435
0.108 0 5.64122e-05 0.0156435
0.144 0 6.29191e-05 0.0156435
0.18 0 5.12173e-05 0.0156435
0.216 0 5.96713e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 3 UNDER 4
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.21341e-05 1.73853e-05 0.0156435
0.036 5.27753e-05 2.02674e-05 0.0156435
0.045 4.35324e-05 2.26446e-05 0.0156435
0.054 3.73701e-05 2.42293e-05 0.0156435
0.063 3.29698e-05 2.53623e-05 0.0156435
0.072 2.96692e-05 2.62118e-05 0.0156435
0.081 2.62199e-05 2.79849e-05 0.0156435
0.09 2.37084e-05 2.91541e-05 0.0156435
0.108 0 5.0852e-05 0.0156435
0.144 0 5.67571e-05 0.0156435
0.18 0 5.69444e-05 0.0156435
0.216 0 5.65267e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 UNDER 5
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.53542e-05 1.2654e-05 0.0156435
0.036 5.67822e-05 1.36955e-05 0.0156435
0.045 4.77176e-05 1.50521e-05 0.0156435
0.054 4.16738e-05 1.5956e-05 0.0156435
0.063 3.73561e-05 1.66029e-05 0.0156435
0.072 3.41181e-05 2.42083e-05 0.0156435
0.081 3.04745e-05 1.85753e-05 0.0156435
0.09 2.78332e-05 1.94919e-05 0.0156435
0.108 2.38727e-05 2.08658e-05 0.0156435
0.144 0 5.0147e-05 0.0156435
0.18 0 3.78645e-05 0.0156435
0.216 0 4.54478e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 UNDER 6
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.54998e-05 1.23496e-05 0.0156435
0.036 5.75645e-05 1.26897e-05 0.0156435
0.045 4.84933e-05 1.39803e-05 0.0156435
0.054 4.24468e-05 1.48403e-05 0.0156435
0.063 3.81249e-05 1.54549e-05 0.0156435
0.072 3.48865e-05 1.59167e-05 0.0156435
0.081 3.11855e-05 1.74318e-05 0.0156435
0.09 2.85116e-05 1.83564e-05 0.0156435
0.108 2.45021e-05 1.97431e-05 0.0156435
0.144 0 4.10558e-05 0.0156435
0.18 0 3.42849e-05 0.0156435
0.216 0 3.53311e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 UNDER 7
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.59468e-05 1.16968e-05 0.0156435
0.036 5.83148e-05 1.91042e-05 0.0156435
0.045 4.9377e-05 1.29028e-05 0.0156435
0.054 4.34189e-05 1.36771e-05 0.0156435
0.063 3.91619e-05 1.42304e-05 0.0156435
0.072 3.59697e-05 1.46459e-05 0.0156435
0.081 3.22844e-05 1.60591e-05 0.0156435
0.09 2.96943e-05 1.68344e-05 0.0156435
0.108 2.58082e-05 1.79976e-05 0.0156435
0.144 0 4.78174e-05 0.0156435
0.18 0 4.05534e-05 0.0156435
0.216 0 3.37811e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 UNDER 8
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.68634e-05 1.11794e-05 0.0156435
0.036 5.7947e-05 1.22812e-05 0.0156435
0.045 4.93127e-05 1.30081e-05 0.0156435
0.054 4.35576e-05 1.34919e-05 0.0156435
0.063 3.94464e-05 1.38368e-05 0.0156435
0.072 3.63633e-05 2.19421e-05 0.0156435
0.081 3.29235e-05 1.51921e-05 0.0156435
0.09 3.05118e-05 1.57292e-05 0.0156435
0.108 2.68933e-05 1.65336e-05 0.0156435
0.144 0 4.0522e-05 0.0156435
0.18 0 3.98611e-05 0.0156435
0.216 0 3.98611e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 UNDER 9
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.68634e-05 1.11794e-05 0.0156435
0.036 5.7947e-05 2.01262e-05 0.0156435
0.045 4.93127e-05 1.30081e-05 0.0156435
0.054 4.35576e-05 1.34919e-05 0.0156435
0.063 3.94464e-05 2.16829e-05 0.0156435
0.072 3.63633e-05 1.40961e-05 0.0156435
0.081 3.29235e-05 2.3037e-05 0.0156435
0.09 3.05118e-05 1.57292e-05 0.0156435
0.108 2.68933e-05 1.65336e-05 0.0156435
0.144 0 4.0522e-05 0.0156435
0.18 0 3.20162e-05 0.0156435
0.216 0 3.20162e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 UNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 3 DIAGUNDER 4
DIST count 13 width 0.018
0 0 2.50856e-05 0.0156435
0.018 0 2.23553e-05 0.0156435
0.036 0 2.02083e-05 0.0156435
0.045 0 1.91343e-05 0.0156435
0.054 0 1.80602e-05 0.0156435
0.063 0 1.69861e-05 0.0156435
0.072 0 1.64039e-05 0.0156435
0.081 0 1.58831e-05 0.0156435
0.09 0 1.53611e-05 0.0156435
0.108 0 1.43183e-05 0.0156435
0.144 0 1.22338e-05 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 3 DIAGUNDER 5
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0156435
0.018 0 1.21632e-05 0.0156435
0.036 0 0 0.0156435
0.045 0 0 0.0156435
0.054 0 0 0.0156435
0.063 0 0 0.0156435
0.072 0 0 0.0156435
0.081 0 0 0.0156435
0.09 0 0 0.0156435
0.108 0 0 0.0156435
0.144 0 0 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 3 DIAGUNDER 6
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0156435
0.018 0 0 0.0156435
0.036 0 0 0.0156435
0.045 0 0 0.0156435
0.054 0 0 0.0156435
0.063 0 0 0.0156435
0.072 0 0 0.0156435
0.081 0 0 0.0156435
0.09 0 0 0.0156435
0.108 0 0 0.0156435
0.144 0 0 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 3 DIAGUNDER 7
DIST count 13 width 0.018
0 0 0 0.0156435
0.018 0 0 0.0156435
0.036 0 0 0.0156435
0.045 0 0 0.0156435
0.054 0 0 0.0156435
0.063 0 0 0.0156435
0.072 0 0 0.0156435
0.081 0 0 0.0156435
0.09 0 0 0.0156435
0.108 0 0 0.0156435
0.144 0 0 0.0156435
0.18 0 0 0.0156435
0.216 0 0 0.0156435
END DIST

Metal 3 DIAGUNDER 8
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 DIAGUNDER 9
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.018

Metal 3 OVER 1 UNDER 4
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.97376e-05 1.88877e-05 0.0156435
0.036 5.06804e-05 2.9817e-05 0.0156435
0.045 4.10995e-05 2.60428e-05 0.0156435
0.054 3.4712e-05 2.80093e-05 0.0156435
0.063 3.01513e-05 2.94294e-05 0.0156435
0.072 2.57758e-05 3.1677e-05 0.0156435
0.081 0 5.61122e-05 0.0156435
0.09 0 5.50441e-05 0.0156435
0.108 0 5.34284e-05 0.0156435
0.144 0 5.90882e-05 0.0156435
0.18 0 6.42556e-05 0.0156435
0.216 0 5.75626e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 1 UNDER 5
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.16854e-05 2.22432e-05 0.0156435
0.036 5.27926e-05 1.88182e-05 0.0156435
0.045 4.28286e-05 2.1485e-05 0.0156435
0.054 3.61757e-05 3.03657e-05 0.0156435
0.063 3.14282e-05 3.16411e-05 0.0156435
0.072 2.78668e-05 2.54745e-05 0.0156435
0.081 2.40993e-05 2.76052e-05 0.0156435
0.09 0 5.0397e-05 0.0156435
0.108 0 5.55738e-05 0.0156435
0.144 0 4.59791e-05 0.0156435
0.18 0 4.32339e-05 0.0156435
0.216 0 4.37708e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 1 UNDER 6
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.30093e-05 1.33704e-05 0.0156435
0.036 5.46168e-05 1.65462e-05 0.0156435
0.045 4.49282e-05 1.87547e-05 0.0156435
0.054 3.8465e-05 2.022e-05 0.0156435
0.063 3.3852e-05 2.1273e-05 0.0156435
0.072 3.03898e-05 2.20637e-05 0.0156435
0.081 2.65766e-05 3.13264e-05 0.0156435
0.09 2.36772e-05 2.55244e-05 0.0156435
0.108 0 4.70451e-05 0.0156435
0.144 0 4.4293e-05 0.0156435
0.18 0 4.05102e-05 0.0156435
0.216 0 4.1059e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 1 UNDER 7
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.35417e-05 2.00835e-05 0.0156435
0.036 5.54641e-05 1.54017e-05 0.0156435
0.045 4.60071e-05 2.47235e-05 0.0156435
0.054 3.96988e-05 1.86573e-05 0.0156435
0.063 3.5194e-05 1.95926e-05 0.0156435
0.072 3.18162e-05 2.0294e-05 0.0156435
0.081 2.79515e-05 2.2279e-05 0.0156435
0.09 2.51259e-05 3.09642e-05 0.0156435
0.108 0 4.64825e-05 0.0156435
0.144 0 4.35869e-05 0.0156435
0.18 0 3.91564e-05 0.0156435
0.216 0 3.98162e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 1 UNDER 8
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.28285e-05 1.37396e-05 0.0156435
0.036 5.50012e-05 2.37905e-05 0.0156435
0.045 4.58637e-05 1.75128e-05 0.0156435
0.054 3.97688e-05 1.85602e-05 0.0156435
0.063 3.54166e-05 2.71539e-05 0.0156435
0.072 3.21501e-05 1.98693e-05 0.0156435
0.081 2.85543e-05 2.14885e-05 0.0156435
0.09 2.59536e-05 2.25082e-05 0.0156435
0.108 0 4.60877e-05 0.0156435
0.144 0 4.36387e-05 0.0156435
0.18 0 3.81574e-05 0.0156435
0.216 0 3.84675e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.018
0.018 9.28285e-05 1.37396e-05 0.0156435
0.036 5.50012e-05 1.59455e-05 0.0156435
0.045 4.58637e-05 1.75128e-05 0.0156435
0.054 3.97688e-05 1.85602e-05 0.0156435
0.063 3.54166e-05 1.93089e-05 0.0156435
0.072 3.21501e-05 1.98693e-05 0.0156435
0.081 2.85543e-05 2.14885e-05 0.0156435
0.09 2.59536e-05 3.0353e-05 0.0156435
0.108 0 5.39327e-05 0.0156435
0.144 0 4.36387e-05 0.0156435
0.18 0 3.81574e-05 0.0156435
0.216 0 3.84433e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 3 OVER 2 UNDER 4
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.12895e-05 3.91899e-05 0.0156435
0.036 3.79169e-05 4.29201e-05 0.0156435
0.045 2.78309e-05 4.86933e-05 0.0156435
0.054 0 8.0227e-05 0.0156435
0.063 0 7.81019e-05 0.0156435
0.072 0 6.98e-05 0.0156435
0.081 0 6.94597e-05 0.0156435
0.09 0 6.91865e-05 0.0156435
0.108 0 7.56666e-05 0.0156435
0.144 0 6.82858e-05 0.0156435
0.18 0 6.69963e-05 0.0156435
0.216 0 6.75611e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 2 UNDER 5
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.6185e-05 2.31991e-05 0.0156435
0.036 4.59405e-05 3.70255e-05 0.0156435
0.045 3.58494e-05 3.4126e-05 0.0156435
0.054 2.91144e-05 3.68542e-05 0.0156435
0.063 2.43065e-05 3.88229e-05 0.0156435
0.072 0 6.1001e-05 0.0156435
0.081 0 6.72211e-05 0.0156435
0.09 0 5.93784e-05 0.0156435
0.108 0 5.83216e-05 0.0156435
0.144 0 5.69236e-05 0.0156435
0.18 0 5.52407e-05 0.0156435
0.216 0 5.5823e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 2 UNDER 6
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.73818e-05 2.89423e-05 0.0156435
0.036 4.77303e-05 2.77061e-05 0.0156435
0.045 3.7884e-05 3.86669e-05 0.0156435
0.054 3.13168e-05 3.39282e-05 0.0156435
0.063 2.66275e-05 4.29922e-05 0.0156435
0.072 0 6.02035e-05 0.0156435
0.081 0 5.91749e-05 0.0156435
0.09 0 6.56064e-05 0.0156435
0.108 0 5.69558e-05 0.0156435
0.144 0 5.55638e-05 0.0156435
0.18 0 5.3359e-05 0.0156435
0.216 0 5.4031e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 2 UNDER 7
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.79626e-05 2.09316e-05 0.0156435
0.036 4.86113e-05 2.65684e-05 0.0156435
0.045 3.89331e-05 3.01321e-05 0.0156435
0.054 3.2477e-05 3.24976e-05 0.0156435
0.063 2.78671e-05 3.41968e-05 0.0156435
0.072 2.44096e-05 3.5471e-05 0.0156435
0.081 0 6.61896e-05 0.0156435
0.09 0 5.79847e-05 0.0156435
0.108 0 5.67317e-05 0.0156435
0.144 0 5.50762e-05 0.0156435
0.18 0 5.25079e-05 0.0156435
0.216 0 5.27593e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 2 UNDER 8
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.9604e-05 1.92767e-05 0.0156435
0.036 5.0523e-05 2.35473e-05 0.0156435
0.045 4.13146e-05 2.61353e-05 0.0156435
0.054 3.51781e-05 2.78589e-05 0.0156435
0.063 3.07918e-05 2.90914e-05 0.0156435
0.072 2.4553e-05 3.53194e-05 0.0156435
0.081 0 5.87211e-05 0.0156435
0.09 0 6.56422e-05 0.0156435
0.108 0 6.42566e-05 0.0156435
0.144 0 5.5074e-05 0.0156435
0.18 0 5.12833e-05 0.0156435
0.216 0 5.18183e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 2 UNDER 9
DIST count 12 width 0.018
0.018 8.9604e-05 1.92767e-05 0.0156435
0.036 5.0523e-05 2.35473e-05 0.0156435
0.045 4.13146e-05 2.61353e-05 0.0156435
0.054 3.51781e-05 2.78589e-05 0.0156435
0.063 3.07918e-05 2.90914e-05 0.0156435
0.072 2.4553e-05 3.53194e-05 0.0156435
0.081 0 5.87211e-05 0.0156435
0.09 0 5.77975e-05 0.0156435
0.108 0 5.64122e-05 0.0156435
0.144 0 6.29191e-05 0.0156435
0.18 0 5.11433e-05 0.0156435
0.216 0 5.18183e-05 0.0156435
END DIST

Metal 3 OVER 2 UNDER 10
DIST count 0 width 0.018
END DIST

Metal 4 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 4 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.024
0 0 0 0.0180365
0 0.024 0 0.0180365
0 0.048 0 0.0180365
0 0.06 0 0.0180365
0 0.072 0 0.0180365
0 0.096 0 0.0180365
0 0.108 0 0.0180365
0 0.12 0 0.0180365
0 0.144 0 0.0180365
0 0.192 0 0.0180365
0.024 0.024 0 0.0180365
0.024 0.048 0 0.0180365
0.024 0.06 0 0.0180365
0.024 0.072 0 0.0180365
0.024 0.096 0 0.0180365
0.024 0.108 0 0.0180365
0.024 0.12 0 0.0180365
0.024 0.144 0 0.0180365
0.024 0.192 0 0.0180365
0.048 0.048 0 0.0180365
0.048 0.06 0 0.0180365
0.048 0.072 0 0.0180365
0.048 0.096 0 0.0180365
0.048 0.108 0 0.0180365
0.048 0.12 0 0.0180365
0.048 0.144 0 0.0180365
0.048 0.192 0 0.0180365
0.06 0.06 0 0.0180365
0.06 0.072 0 0.0180365
0.06 0.096 0 0.0180365
0.06 0.108 0 0.0180365
0.06 0.12 0 0.0180365
0.06 0.144 0 0.0180365
0.06 0.192 0 0.0180365
0.072 0.072 0 0.0180365
0.072 0.096 0 0.0180365
0.072 0.108 0 0.0180365
0.072 0.12 0 0.0180365
0.072 0.144 0 0.0180365
0.072 0.192 0 0.0180365
0.096 0.096 0 0.0180365
0.096 0.108 0 0.0180365
0.096 0.12 0 0.0180365
0.096 0.144 0 0.0180365
0.096 0.192 0 0.0180365
0.108 0.108 0 0.0180365
0.108 0.12 0 0.0180365
0.108 0.144 0 0.0180365
0.108 0.192 0 0.0180365
0.12 0.12 0 0.0180365
0.12 0.144 0 0.0180365
0.12 0.192 0 0.0180365
0.144 0.144 0 0.0180365
0.144 0.192 0 0.0180365
0.192 0 0.192 0.0180365
END DIST

Metal 4 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 RESOVER 3
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 4 OVER 0
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000112849 9.87151e-06 0.00901823
0.048 6.64545e-05 1.10833e-05 0.00901823
0.06 5.6429e-05 1.19019e-05 0.00901823
0.072 4.97431e-05 1.24479e-05 0.00901823
0.084 4.49687e-05 1.28369e-05 0.00901823
0.096 4.13885e-05 1.31303e-05 0.00901823
0.108 3.74429e-05 1.43984e-05 0.00901823
0.12 3.46819e-05 1.50165e-05 0.00901823
0.144 3.05431e-05 1.59428e-05 0.00901823
0.192 2.49344e-05 1.81103e-05 0.00901823
0.24 0 3.34429e-05 0.00901823
0.288 0 3.34429e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 1
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000109125 1.17049e-05 0.00901823
0.048 6.4293e-05 1.36866e-05 0.00901823
0.06 5.38871e-05 1.51111e-05 0.00901823
0.072 4.69493e-05 1.60625e-05 0.00901823
0.084 4.19931e-05 1.6743e-05 0.00901823
0.096 3.82759e-05 1.72526e-05 0.00901823
0.108 3.41679e-05 1.89323e-05 0.00901823
0.12 3.12306e-05 1.99263e-05 0.00901823
0.144 2.68257e-05 2.14176e-05 0.00901823
0.192 2.0975e-05 2.42213e-05 0.00901823
0.24 0 3.825e-05 0.00901823
0.288 0 4.37532e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 2
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000107054 1.42482e-05 0.00901823
0.048 6.14814e-05 1.74271e-05 0.00901823
0.06 5.07362e-05 1.96145e-05 0.00901823
0.072 4.35712e-05 2.10729e-05 0.00901823
0.084 3.84532e-05 2.21163e-05 0.00901823
0.096 3.46142e-05 2.28975e-05 0.00901823
0.108 3.0528e-05 2.49478e-05 0.00901823
0.12 2.75478e-05 2.62987e-05 0.00901823
0.144 2.30776e-05 2.8323e-05 0.00901823
0.192 0 4.89051e-05 0.00901823
0.24 0 4.36069e-05 0.00901823
0.288 0 4.40398e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 3
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.94599e-05 2.64411e-05 0.00901823
0.048 5.26693e-05 3.38205e-05 0.00901823
0.06 4.19461e-05 3.78898e-05 0.00901823
0.072 3.47949e-05 4.06042e-05 0.00901823
0.084 2.96893e-05 4.25435e-05 0.00901823
0.096 2.58577e-05 4.39974e-05 0.00901823
0.108 2.22418e-05 4.6525e-05 0.00901823
0.12 1.95877e-05 4.83082e-05 0.00901823
0.144 0 6.65885e-05 0.00901823
0.192 0 6.5355e-05 0.00901823
0.24 0 6.1059e-05 0.00901823
0.288 0 6.76951e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 4 UNDER 5
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000102082 2.38421e-05 0.00901823
0.048 5.45772e-05 2.94392e-05 0.00901823
0.06 4.32187e-05 3.38334e-05 0.00901823
0.072 3.56493e-05 3.67612e-05 0.00901823
0.084 3.02395e-05 3.88531e-05 0.00901823
0.096 2.61837e-05 4.04228e-05 0.00901823
0.108 2.2245e-05 4.32419e-05 0.00901823
0.12 1.92367e-05 5.43002e-05 0.00901823
0.144 0 6.32494e-05 0.00901823
0.192 0 6.15409e-05 0.00901823
0.24 0 6.16924e-05 0.00901823
0.288 0 6.12299e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000108593 1.46458e-05 0.00901823
0.048 6.28258e-05 1.57256e-05 0.00901823
0.06 5.16451e-05 1.81963e-05 0.00901823
0.072 4.41942e-05 1.98412e-05 0.00901823
0.084 3.88699e-05 2.10181e-05 0.00901823
0.096 3.48785e-05 2.19009e-05 0.00901823
0.108 3.04737e-05 2.42076e-05 0.00901823
0.12 2.71675e-05 2.58384e-05 0.00901823
0.144 2.22036e-05 2.82848e-05 0.00901823
0.192 0 4.7251e-05 0.00901823
0.24 0 4.3738e-05 0.00901823
0.288 0 4.44844e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000110569 1.82916e-05 0.00901823
0.048 6.5508e-05 1.86927e-05 0.00901823
0.06 5.47605e-05 2.15364e-05 0.00901823
0.072 4.75971e-05 1.51657e-05 0.00901823
0.084 4.24795e-05 2.36008e-05 0.00901823
0.096 3.86409e-05 2.32093e-05 0.00901823
0.108 3.42591e-05 2.61814e-05 0.00901823
0.12 3.10549e-05 1.98541e-05 0.00901823
0.144 2.62473e-05 2.93013e-05 0.00901823
0.192 2.01173e-05 2.40398e-05 0.00901823
0.24 0 3.75476e-05 0.00901823
0.288 0 4.55049e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000111101 1.09497e-05 0.00901823
0.048 6.65297e-05 1.07986e-05 0.00901823
0.06 5.5974e-05 1.96068e-05 0.00901823
0.072 4.89355e-05 1.3402e-05 0.00901823
0.084 4.39083e-05 1.41459e-05 0.00901823
0.096 4.01391e-05 1.47032e-05 0.00901823
0.108 3.58319e-05 1.64749e-05 0.00901823
0.12 3.27381e-05 2.47873e-05 0.00901823
0.144 2.80957e-05 2.63862e-05 0.00901823
0.192 2.21314e-05 2.11371e-05 0.00901823
0.24 0 4.32784e-05 0.00901823
0.288 0 3.63332e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000111545 1.07664e-05 0.00901823
0.048 6.70595e-05 1.02665e-05 0.00901823
0.06 5.66688e-05 1.15886e-05 0.00901823
0.072 4.97392e-05 1.85043e-05 0.00901823
0.084 4.479e-05 1.91353e-05 0.00901823
0.096 4.10802e-05 1.96067e-05 0.00901823
0.108 3.67433e-05 1.53229e-05 0.00901823
0.12 3.37259e-05 1.62692e-05 0.00901823
0.144 2.92015e-05 1.76884e-05 0.00901823
0.192 2.33063e-05 2.65251e-05 0.00901823
0.24 0 3.51424e-05 0.00901823
0.288 0 4.24602e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 4 DIAGUNDER 5
DIST count 13 width 0.024
0 0 2.72448e-05 0.00901823
0.024 0 2.4053e-05 0.00901823
0.048 0 2.18507e-05 0.00901823
0.06 0 2.075e-05 0.00901823
0.072 0 1.96484e-05 0.00901823
0.084 0 1.85477e-05 0.00901823
0.096 0 1.7447e-05 0.00901823
0.108 0 1.63455e-05 0.00901823
0.12 0 1.56997e-05 0.00901823
0.144 0 1.47118e-05 0.00901823
0.192 0 1.27361e-05 0.00901823
0.24 0 0 0.00901823
0.288 0 0 0.00901823
END DIST

Metal 4 DIAGUNDER 6
DIST count 13 width 0.024
0 0 1.74714e-05 0.00901823
0.024 0 1.46163e-05 0.00901823
0.048 0 1.41172e-05 0.00901823
0.06 0 1.38672e-05 0.00901823
0.072 0 1.36181e-05 0.00901823
0.084 0 1.33681e-05 0.00901823
0.096 0 1.30929e-05 0.00901823
0.108 0 1.28125e-05 0.00901823
0.12 0 1.25321e-05 0.00901823
0.144 0 1.19705e-05 0.00901823
0.192 0 1.08481e-05 0.00901823
0.24 0 0 0.00901823
0.288 0 0 0.00901823
END DIST

Metal 4 DIAGUNDER 7
DIST count 13 width 0.024
0 0 9.75347e-06 0.00901823
0.024 0 0 0.00901823
0.048 0 0 0.00901823
0.06 0 0 0.00901823
0.072 0 0 0.00901823
0.084 0 0 0.00901823
0.096 0 0 0.00901823
0.108 0 0 0.00901823
0.12 0 0 0.00901823
0.144 0 0 0.00901823
0.192 0 0 0.00901823
0.24 0 0 0.00901823
0.288 0 0 0.00901823
END DIST

Metal 4 DIAGUNDER 8
DIST count 13 width 0.024
0 0 0 0.00901823
0.024 0 0 0.00901823
0.048 0 0 0.00901823
0.06 0 0 0.00901823
0.072 0 0 0.00901823
0.084 0 0 0.00901823
0.096 0 0 0.00901823
0.108 0 0 0.00901823
0.12 0 0 0.00901823
0.144 0 0 0.00901823
0.192 0 0 0.00901823
0.24 0 0 0.00901823
0.288 0 0 0.00901823
END DIST

Metal 4 DIAGUNDER 9
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 4 OVER 1 UNDER 5
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000100432 2.38359e-05 0.00901823
0.048 5.25955e-05 3.18724e-05 0.00901823
0.06 4.08924e-05 3.68047e-05 0.00901823
0.072 3.30927e-05 4.00981e-05 0.00901823
0.084 2.75208e-05 4.24513e-05 0.00901823
0.096 2.3342e-05 4.4217e-05 0.00901823
0.108 1.96234e-05 4.69586e-05 0.00901823
0.12 0 7.3036e-05 0.00901823
0.144 0 6.46073e-05 0.00901823
0.192 0 6.3188e-05 0.00901823
0.24 0 6.2634e-05 0.00901823
0.288 0 6.21714e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 1 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000107129 1.65573e-05 0.00901823
0.048 6.07e-05 2.07708e-05 0.00901823
0.06 4.91665e-05 2.38142e-05 0.00901823
0.072 4.14794e-05 2.5843e-05 0.00901823
0.084 3.5986e-05 2.72916e-05 0.00901823
0.096 3.18679e-05 2.83786e-05 0.00901823
0.108 2.75728e-05 3.0788e-05 0.00901823
0.12 2.42062e-05 4.0651e-05 0.00901823
0.144 1.91562e-05 3.54348e-05 0.00901823
0.192 0 5.17315e-05 0.00901823
0.24 0 4.71908e-05 0.00901823
0.288 0 4.79377e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 1 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000109014 1.40833e-05 0.00901823
0.048 6.3356e-05 1.73628e-05 0.00901823
0.06 5.22292e-05 1.97075e-05 0.00901823
0.072 4.48127e-05 2.12708e-05 0.00901823
0.084 3.95143e-05 2.23872e-05 0.00901823
0.096 3.55397e-05 2.32248e-05 0.00901823
0.108 3.12028e-05 2.53498e-05 0.00901823
0.12 2.78786e-05 3.50154e-05 0.00901823
0.144 2.28888e-05 2.92396e-05 0.00901823
0.192 0 4.87595e-05 0.00901823
0.24 0 4.10035e-05 0.00901823
0.288 0 4.13863e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 1 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000109681 1.05364e-05 0.00901823
0.048 6.43085e-05 1.3645e-05 0.00901823
0.06 5.34338e-05 2.0848e-05 0.00901823
0.072 4.61854e-05 1.69914e-05 0.00901823
0.084 4.10081e-05 1.79471e-05 0.00901823
0.096 3.71253e-05 1.8665e-05 0.00901823
0.108 3.27698e-05 2.07534e-05 0.00901823
0.12 2.95339e-05 2.21692e-05 0.00901823
0.144 2.46833e-05 3.05209e-05 0.00901823
0.192 1.8522e-05 2.69426e-05 0.00901823
0.24 0 4.31989e-05 0.00901823
0.288 0 3.72702e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000109125 1.42344e-05 0.00901823
0.048 6.42903e-05 1.62179e-05 0.00901823
0.06 5.38837e-05 2.34599e-05 0.00901823
0.072 4.69448e-05 1.85955e-05 0.00901823
0.084 4.19893e-05 1.92752e-05 0.00901823
0.096 3.82725e-05 1.97847e-05 0.00901823
0.108 3.41636e-05 2.14653e-05 0.00901823
0.12 3.12275e-05 2.24592e-05 0.00901823
0.144 2.68233e-05 3.08029e-05 0.00901823
0.192 2.09706e-05 2.67543e-05 0.00901823
0.24 0 4.76266e-05 0.00901823
0.288 0 4.10243e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 OVER 2 UNDER 5
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.85923e-05 2.63126e-05 0.00901823
0.048 4.9863e-05 3.55609e-05 0.00901823
0.06 3.79812e-05 4.10183e-05 0.00901823
0.072 3.00629e-05 4.46623e-05 0.00901823
0.084 2.44055e-05 4.72656e-05 0.00901823
0.096 2.0163e-05 4.92198e-05 0.00901823
0.108 0 6.86015e-05 0.00901823
0.12 0 7.57451e-05 0.00901823
0.144 0 6.70182e-05 0.00901823
0.192 0 6.58692e-05 0.00901823
0.24 0 6.41527e-05 0.00901823
0.288 0 6.48076e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 2 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000105191 1.88516e-05 0.00901823
0.048 5.79044e-05 2.45218e-05 0.00901823
0.06 4.61266e-05 2.82344e-05 0.00901823
0.072 3.82742e-05 3.07092e-05 0.00901823
0.084 3.26648e-05 3.24764e-05 0.00901823
0.096 2.84599e-05 3.38029e-05 0.00901823
0.108 2.42918e-05 3.63777e-05 0.00901823
0.12 2.09894e-05 4.76075e-05 0.00901823
0.144 0 5.74863e-05 0.00901823
0.192 0 5.51135e-05 0.00901823
0.24 0 5.26598e-05 0.00901823
0.288 0 5.32693e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 2 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000106993 1.65165e-05 0.00901823
0.048 6.05918e-05 2.10747e-05 0.00901823
0.06 4.91891e-05 2.40894e-05 0.00901823
0.072 4.15865e-05 2.6099e-05 0.00901823
0.084 3.61562e-05 2.75347e-05 0.00901823
0.096 3.2083e-05 2.86111e-05 0.00901823
0.108 2.78036e-05 3.10503e-05 0.00901823
0.12 2.44931e-05 3.84625e-05 0.00901823
0.144 1.95295e-05 3.56415e-05 0.00901823
0.192 0 5.23681e-05 0.00901823
0.24 0 4.88655e-05 0.00901823
0.288 0 4.95573e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 2 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000107597 1.33924e-05 0.00901823
0.048 6.1711e-05 1.72291e-05 0.00901823
0.06 5.04826e-05 2.25548e-05 0.00901823
0.072 4.29981e-05 2.18115e-05 0.00901823
0.084 3.76536e-05 2.31207e-05 0.00901823
0.096 3.36433e-05 2.41033e-05 0.00901823
0.108 2.9303e-05 2.65355e-05 0.00901823
0.12 2.60477e-05 2.82569e-05 0.00901823
0.144 2.1168e-05 3.44496e-05 0.00901823
0.192 0 4.90633e-05 0.00901823
0.24 0 4.86049e-05 0.00901823
0.288 0 4.57811e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 2 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000107054 1.67769e-05 0.00901823
0.048 6.14792e-05 1.99584e-05 0.00901823
0.06 5.07323e-05 2.60165e-05 0.00901823
0.072 4.35681e-05 2.3606e-05 0.00901823
0.084 3.84494e-05 2.46475e-05 0.00901823
0.096 3.46125e-05 2.54296e-05 0.00901823
0.108 3.05247e-05 2.748e-05 0.00901823
0.12 2.75449e-05 2.88299e-05 0.00901823
0.144 2.30747e-05 3.56859e-05 0.00901823
0.192 0 5.14332e-05 0.00901823
0.24 0 5.09247e-05 0.00901823
0.288 0 4.65614e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 2 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 4 OVER 3 UNDER 5
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.29375e-05 3.84176e-05 0.00901823
0.048 4.1382e-05 5.15033e-05 0.00901823
0.06 2.99667e-05 5.81465e-05 0.00901823
0.072 2.23585e-05 6.25826e-05 0.00901823
0.084 0 8.26749e-05 0.00901823
0.096 0 8.0976e-05 0.00901823
0.108 0 8.06958e-05 0.00901823
0.12 0 9.04836e-05 0.00901823
0.144 0 8.01114e-05 0.00901823
0.192 0 7.96576e-05 0.00901823
0.24 0 7.81069e-05 0.00901823
0.288 0 7.87823e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 3 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.76214e-05 3.12588e-05 0.00901823
0.048 4.93717e-05 4.0624e-05 0.00901823
0.06 3.77919e-05 4.59369e-05 0.00901823
0.072 3.00715e-05 4.94777e-05 0.00901823
0.084 2.45573e-05 5.20067e-05 0.00901823
0.096 2.04222e-05 5.39042e-05 0.00901823
0.108 0 7.3541e-05 0.00901823
0.12 0 8.50758e-05 0.00901823
0.144 0 7.19669e-05 0.00901823
0.192 0 7.07749e-05 0.00901823
0.24 0 6.8874e-05 0.00901823
0.288 0 6.95942e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 3 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.94984e-05 2.88724e-05 0.00901823
0.048 5.20657e-05 3.70382e-05 0.00901823
0.06 4.07444e-05 4.19028e-05 0.00901823
0.072 3.31996e-05 4.5145e-05 0.00901823
0.084 2.78087e-05 4.74609e-05 0.00901823
0.096 2.37656e-05 4.91988e-05 0.00901823
0.108 2.00747e-05 5.19271e-05 0.00901823
0.12 0 7.90152e-05 0.00901823
0.144 0 7.00755e-05 0.00901823
0.192 0 6.86007e-05 0.00901823
0.24 0 6.61944e-05 0.00901823
0.288 0 6.70347e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 3 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000100195 2.54401e-05 0.00901823
0.048 5.30845e-05 3.33437e-05 0.00901823
0.06 4.19497e-05 4.2844e-05 0.00901823
0.072 3.45278e-05 4.09876e-05 0.00901823
0.084 2.92273e-05 4.31718e-05 0.00901823
0.096 2.5251e-05 4.48118e-05 0.00901823
0.108 2.13826e-05 4.76962e-05 0.00901823
0.12 1.8532e-05 4.97517e-05 0.00901823
0.144 0 7.30095e-05 0.00901823
0.192 0 6.55031e-05 0.00901823
0.24 0 6.86296e-05 0.00901823
0.288 0 6.36596e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 3 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.94602e-05 2.89697e-05 0.00901823
0.048 5.26665e-05 3.63506e-05 0.00901823
0.06 4.1943e-05 4.717e-05 0.00901823
0.072 3.47935e-05 4.31362e-05 0.00901823
0.084 2.96856e-05 4.50746e-05 0.00901823
0.096 2.58561e-05 4.65288e-05 0.00901823
0.108 2.22397e-05 4.90564e-05 0.00901823
0.12 1.9585e-05 5.08383e-05 0.00901823
0.144 0 7.68608e-05 0.00901823
0.192 0 6.78824e-05 0.00901823
0.24 0 7.12421e-05 0.00901823
0.288 0 6.44056e-05 0.00901823
END DIST

Metal 4 OVER 3 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 5 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.024
0 0 0 0.0189934
0 0.024 0 0.0189934
0 0.048 0 0.0189934
0 0.06 0 0.0189934
0 0.072 0 0.0189934
0 0.096 0 0.0189934
0 0.108 0 0.0189934
0 0.12 0 0.0189934
0 0.144 0 0.0189934
0 0.192 0 0.0189934
0.024 0.024 0 0.0189934
0.024 0.048 0 0.0189934
0.024 0.06 0 0.0189934
0.024 0.072 0 0.0189934
0.024 0.096 0 0.0189934
0.024 0.108 0 0.0189934
0.024 0.12 0 0.0189934
0.024 0.144 0 0.0189934
0.024 0.192 0 0.0189934
0.048 0.048 0 0.0189934
0.048 0.06 0 0.0189934
0.048 0.072 0 0.0189934
0.048 0.096 0 0.0189934
0.048 0.108 0 0.0189934
0.048 0.12 0 0.0189934
0.048 0.144 0 0.0189934
0.048 0.192 0 0.0189934
0.06 0.06 0 0.0189934
0.06 0.072 0 0.0189934
0.06 0.096 0 0.0189934
0.06 0.108 0 0.0189934
0.06 0.12 0 0.0189934
0.06 0.144 0 0.0189934
0.06 0.192 0 0.0189934
0.072 0.072 0 0.0189934
0.072 0.096 0 0.0189934
0.072 0.108 0 0.0189934
0.072 0.12 0 0.0189934
0.072 0.144 0 0.0189934
0.072 0.192 0 0.0189934
0.096 0.096 0 0.0189934
0.096 0.108 0 0.0189934
0.096 0.12 0 0.0189934
0.096 0.144 0 0.0189934
0.096 0.192 0 0.0189934
0.108 0.108 0 0.0189934
0.108 0.12 0 0.0189934
0.108 0.144 0 0.0189934
0.108 0.192 0 0.0189934
0.12 0.12 0 0.0189934
0.12 0.144 0 0.0189934
0.12 0.192 0 0.0189934
0.144 0.144 0 0.0189934
0.144 0.192 0 0.0189934
0.192 0 0.192 0.0189934
END DIST

Metal 5 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 RESOVER 3
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 RESOVER 4
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 5 OVER 0
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000113306 1.14609e-05 0.0094967
0.048 6.69898e-05 1.23837e-05 0.0094967
0.06 5.71369e-05 1.30104e-05 0.0094967
0.072 5.05674e-05 1.34288e-05 0.0094967
0.084 4.58765e-05 1.37274e-05 0.0094967
0.096 4.23579e-05 1.39506e-05 0.0094967
0.108 3.85177e-05 2.04783e-05 0.0094967
0.12 3.58352e-05 1.55321e-05 0.0094967
0.144 3.18108e-05 1.62614e-05 0.0094967
0.192 2.63211e-05 1.81346e-05 0.0094967
0.24 0 3.33776e-05 0.0094967
0.288 0 3.33776e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 1
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000110221 1.22622e-05 0.0094967
0.048 6.59117e-05 1.36336e-05 0.0094967
0.06 5.57865e-05 1.46197e-05 0.0094967
0.072 4.90385e-05 1.52769e-05 0.0094967
0.084 4.42168e-05 2.11789e-05 0.0094967
0.096 4.06005e-05 1.60981e-05 0.0094967
0.108 3.66143e-05 1.74566e-05 0.0094967
0.12 3.38025e-05 2.35973e-05 0.0094967
0.144 2.95848e-05 2.46589e-05 0.0094967
0.192 2.39149e-05 2.15591e-05 0.0094967
0.24 0 3.63438e-05 0.0094967
0.288 0 3.6525e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 2
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.00010948 1.31754e-05 0.0094967
0.048 6.48179e-05 1.49532e-05 0.0094967
0.06 5.45052e-05 2.16823e-05 0.0094967
0.072 4.76301e-05 1.71129e-05 0.0094967
0.084 4.27207e-05 1.773e-05 0.0094967
0.096 3.90362e-05 1.81926e-05 0.0094967
0.108 3.49622e-05 2.52014e-05 0.0094967
0.12 3.20624e-05 2.06675e-05 0.0094967
0.144 2.77149e-05 2.20155e-05 0.0094967
0.192 2.1913e-05 2.4651e-05 0.0094967
0.24 0 3.87326e-05 0.0094967
0.288 0 3.90141e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 3
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000108004 1.50529e-05 0.0094967
0.048 6.26785e-05 1.77447e-05 0.0094967
0.06 5.20647e-05 1.96015e-05 0.0094967
0.072 4.49882e-05 2.08394e-05 0.0094967
0.084 3.99337e-05 2.71562e-05 0.0094967
0.096 3.61426e-05 2.23872e-05 0.0094967
0.108 3.20433e-05 2.42813e-05 0.0094967
0.12 2.90798e-05 3.09141e-05 0.0094967
0.144 2.46323e-05 3.27162e-05 0.0094967
0.192 1.87537e-05 3.03967e-05 0.0094967
0.24 0 4.29463e-05 0.0094967
0.288 0 4.33707e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 4
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000101928 2.39237e-05 0.0094967
0.048 5.52764e-05 2.99904e-05 0.0094967
0.06 4.43941e-05 3.90078e-05 0.0094967
0.072 3.71422e-05 3.59635e-05 0.0094967
0.084 3.19611e-05 3.767e-05 0.0094967
0.096 2.80743e-05 3.89503e-05 0.0094967
0.108 2.42899e-05 4.68645e-05 0.0094967
0.12 2.15084e-05 4.31702e-05 0.0094967
0.144 0 6.31152e-05 0.0094967
0.192 0 6.1613e-05 0.0094967
0.24 0 5.71441e-05 0.0094967
0.288 0 5.78626e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 5 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000107858 2.29687e-05 0.0094967
0.048 6.11339e-05 2.14315e-05 0.0094967
0.06 5.05535e-05 2.85279e-05 0.0094967
0.072 4.35015e-05 2.55998e-05 0.0094967
0.084 3.84636e-05 3.13792e-05 0.0094967
0.096 3.46857e-05 2.76772e-05 0.0094967
0.108 3.07623e-05 3.42532e-05 0.0094967
0.12 2.79204e-05 3.09529e-05 0.0094967
0.144 2.36562e-05 3.74758e-05 0.0094967
0.192 0 6.32976e-05 0.0094967
0.24 0 6.34372e-05 0.0094967
0.288 0 6.75523e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.00011137 1.34965e-05 0.0094967
0.048 6.56489e-05 1.40166e-05 0.0094967
0.06 5.52604e-05 1.53646e-05 0.0094967
0.072 4.8335e-05 2.11112e-05 0.0094967
0.084 4.33874e-05 1.6901e-05 0.0094967
0.096 3.96767e-05 1.73733e-05 0.0094967
0.108 3.55767e-05 1.89825e-05 0.0094967
0.12 3.26199e-05 2.4803e-05 0.0094967
0.144 2.81838e-05 2.13958e-05 0.0094967
0.192 1.84438e-05 3.41407e-05 0.0094967
0.24 0 4.13037e-05 0.0094967
0.288 0 4.18384e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000111861 1.2487e-05 0.0094967
0.048 6.65438e-05 1.27838e-05 0.0094967
0.06 5.62235e-05 1.4046e-05 0.0094967
0.072 4.93437e-05 1.98445e-05 0.0094967
0.084 4.44286e-05 1.54896e-05 0.0094967
0.096 4.07428e-05 2.08975e-05 0.0094967
0.108 3.65835e-05 1.75131e-05 0.0094967
0.12 3.36253e-05 1.8401e-05 0.0094967
0.144 2.91854e-05 1.97336e-05 0.0094967
0.192 2.34062e-05 2.67178e-05 0.0094967
0.24 0 3.6376e-05 0.0094967
0.288 0 4.31274e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.00011216 1.19775e-05 0.0094967
0.048 6.71336e-05 1.21414e-05 0.0094967
0.06 5.6976e-05 1.821e-05 0.0094967
0.072 5.02035e-05 1.38237e-05 0.0094967
0.084 4.53664e-05 1.43048e-05 0.0094967
0.096 4.17375e-05 1.4665e-05 0.0094967
0.108 3.75485e-05 1.62066e-05 0.0094967
0.12 3.46668e-05 1.69697e-05 0.0094967
0.144 3.03434e-05 2.31745e-05 0.0094967
0.192 2.46438e-05 1.98793e-05 0.0094967
0.24 0 4.03385e-05 0.0094967
0.288 0 3.64905e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 5 DIAGUNDER 6
DIST count 13 width 0.024
0 0 2.89748e-05 0.0094967
0.024 0 2.58906e-05 0.0094967
0.048 0 2.34905e-05 0.0094967
0.06 0 2.22899e-05 0.0094967
0.072 0 2.10894e-05 0.0094967
0.084 0 1.98889e-05 0.0094967
0.096 0 1.92057e-05 0.0094967
0.108 0 1.86259e-05 0.0094967
0.12 0 1.8046e-05 0.0094967
0.144 0 1.68863e-05 0.0094967
0.192 0 1.4566e-05 0.0094967
0.24 0 0 0.0094967
0.288 0 0 0.0094967
END DIST

Metal 5 DIAGUNDER 7
DIST count 13 width 0.024
0 0 1.36701e-05 0.0094967
0.024 0 1.36589e-05 0.0094967
0.048 0 1.33186e-05 0.0094967
0.06 0 1.31484e-05 0.0094967
0.072 0 1.29774e-05 0.0094967
0.084 0 1.28073e-05 0.0094967
0.096 0 1.25937e-05 0.0094967
0.108 0 1.23724e-05 0.0094967
0.12 0 1.21502e-05 0.0094967
0.144 0 1.17057e-05 0.0094967
0.192 0 1.08177e-05 0.0094967
0.24 0 0 0.0094967
0.288 0 0 0.0094967
END DIST

Metal 5 DIAGUNDER 8
DIST count 13 width 0.024
0 0 1.00286e-05 0.0094967
0.024 0 0 0.0094967
0.048 0 0 0.0094967
0.06 0 0 0.0094967
0.072 0 0 0.0094967
0.084 0 0 0.0094967
0.096 0 0 0.0094967
0.108 0 0 0.0094967
0.12 0 0 0.0094967
0.144 0 0 0.0094967
0.192 0 0 0.0094967
0.24 0 0 0.0094967
0.288 0 0 0.0094967
END DIST

Metal 5 DIAGUNDER 9
DIST count 13 width 0.024
0 0 0 0.0094967
0.024 0 0 0.0094967
0.048 0 0 0.0094967
0.06 0 0 0.0094967
0.072 0 0 0.0094967
0.084 0 0 0.0094967
0.096 0 0 0.0094967
0.108 0 0 0.0094967
0.12 0 0 0.0094967
0.144 0 0 0.0094967
0.192 0 0 0.0094967
0.24 0 0 0.0094967
0.288 0 0 0.0094967
END DIST

Metal 5 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.024

Metal 5 OVER 1 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000107709 1.8014e-05 0.0094967
0.048 6.00912e-05 2.73367e-05 0.0094967
0.06 4.92799e-05 2.56164e-05 0.0094967
0.072 4.2082e-05 2.75112e-05 0.0094967
0.084 3.69352e-05 2.8869e-05 0.0094967
0.096 3.30773e-05 3.45043e-05 0.0094967
0.108 2.91365e-05 3.19549e-05 0.0094967
0.12 2.62316e-05 3.33707e-05 0.0094967
0.144 2.18713e-05 3.55103e-05 0.0094967
0.192 0 6.38948e-05 0.0094967
0.24 0 6.84524e-05 0.0094967
0.288 0 6.34655e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 1 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000109057 1.848e-05 0.0094967
0.048 6.31339e-05 1.7066e-05 0.0094967
0.06 5.20346e-05 1.94062e-05 0.0094967
0.072 4.46268e-05 2.10025e-05 0.0094967
0.084 3.93456e-05 2.21277e-05 0.0094967
0.096 3.53819e-05 2.29748e-05 0.0094967
0.108 3.10362e-05 2.51059e-05 0.0094967
0.12 2.77187e-05 2.66918e-05 0.0094967
0.144 2.27439e-05 2.90538e-05 0.0094967
0.192 0 4.84868e-05 0.0094967
0.24 0 4.17649e-05 0.0094967
0.288 0 4.71841e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 1 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000110358 1.19045e-05 0.0094967
0.048 6.52602e-05 1.44183e-05 0.0094967
0.06 5.446e-05 1.62483e-05 0.0094967
0.072 4.72589e-05 1.74818e-05 0.0094967
0.084 4.21142e-05 1.83421e-05 0.0094967
0.096 3.82632e-05 1.90399e-05 0.0094967
0.108 3.39503e-05 2.09591e-05 0.0094967
0.12 3.07362e-05 2.7191e-05 0.0094967
0.144 2.59164e-05 2.41216e-05 0.0094967
0.192 1.98179e-05 2.65217e-05 0.0094967
0.24 0 3.83115e-05 0.0094967
0.288 0 3.86326e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000110915 1.59496e-05 0.0094967
0.048 6.61895e-05 1.83455e-05 0.0094967
0.06 5.56149e-05 1.48229e-05 0.0094967
0.072 4.85641e-05 2.09002e-05 0.0094967
0.084 4.35298e-05 1.65816e-05 0.0094967
0.096 3.97583e-05 1.71484e-05 0.0094967
0.108 3.53951e-05 2.41077e-05 0.0094967
0.12 3.22846e-05 2.01589e-05 0.0094967
0.144 2.76248e-05 2.1803e-05 0.0094967
0.192 2.16648e-05 2.39279e-05 0.0094967
0.24 0 3.66969e-05 0.0094967
0.288 0 3.69316e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 OVER 2 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000100936 2.52674e-05 0.0094967
0.048 5.3182e-05 3.3019e-05 0.0094967
0.06 4.15163e-05 3.80036e-05 0.0094967
0.072 3.37363e-05 4.58664e-05 0.0094967
0.084 2.81789e-05 4.36171e-05 0.0094967
0.096 2.40104e-05 4.53505e-05 0.0094967
0.108 2.02149e-05 4.80973e-05 0.0094967
0.12 0 7.20818e-05 0.0094967
0.144 0 6.62351e-05 0.0094967
0.192 0 6.92937e-05 0.0094967
0.24 0 6.44097e-05 0.0094967
0.288 0 6.39367e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 2 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000108173 1.45877e-05 0.0094967
0.048 6.21125e-05 2.32535e-05 0.0094967
0.06 5.08306e-05 2.09706e-05 0.0094967
0.072 4.33054e-05 2.27102e-05 0.0094967
0.084 3.79317e-05 2.39531e-05 0.0094967
0.096 3.39002e-05 2.9724e-05 0.0094967
0.108 2.95339e-05 2.71892e-05 0.0094967
0.12 2.61704e-05 2.89037e-05 0.0094967
0.144 2.11281e-05 3.14722e-05 0.0094967
0.192 0 4.94548e-05 0.0094967
0.24 0 4.71208e-05 0.0094967
0.288 0 4.28003e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 2 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000109584 1.78542e-05 0.0094967
0.048 6.41842e-05 1.57431e-05 0.0094967
0.06 5.32326e-05 1.78533e-05 0.0094967
0.072 4.59319e-05 1.92596e-05 0.0094967
0.084 4.0699e-05 2.02223e-05 0.0094967
0.096 3.67839e-05 2.1032e-05 0.0094967
0.108 3.24566e-05 2.30407e-05 0.0094967
0.12 2.91706e-05 2.44593e-05 0.0094967
0.144 2.42463e-05 2.66963e-05 0.0094967
0.192 1.8046e-05 2.93593e-05 0.0094967
0.24 0 3.87872e-05 0.0094967
0.288 0 3.91674e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 2 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000110134 1.23117e-05 0.0094967
0.048 6.51095e-05 1.45886e-05 0.0094967
0.06 5.43576e-05 1.64548e-05 0.0094967
0.072 4.71898e-05 1.77214e-05 0.0094967
0.084 4.20504e-05 2.36102e-05 0.0094967
0.096 3.82075e-05 2.43037e-05 0.0094967
0.108 3.386e-05 2.12681e-05 0.0094967
0.12 3.06683e-05 2.25348e-05 0.0094967
0.144 2.58855e-05 2.44627e-05 0.0094967
0.192 1.97859e-05 2.68549e-05 0.0094967
0.24 0 3.71355e-05 0.0094967
0.288 0 3.74582e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 2 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 OVER 3 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.94547e-05 3.17143e-05 0.0094967
0.048 5.09828e-05 3.59054e-05 0.0094967
0.06 3.91859e-05 4.57493e-05 0.0094967
0.072 3.1317e-05 4.47533e-05 0.0094967
0.084 2.56977e-05 5.17595e-05 0.0094967
0.096 2.14824e-05 4.90287e-05 0.0094967
0.108 1.78701e-05 5.63706e-05 0.0094967
0.12 0 6.89494e-05 0.0094967
0.144 0 7.25688e-05 0.0094967
0.192 0 6.65687e-05 0.0094967
0.24 0 6.46049e-05 0.0094967
0.288 0 6.99646e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 3 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000106736 1.66145e-05 0.0094967
0.048 6.01062e-05 2.09835e-05 0.0094967
0.06 4.85444e-05 2.4178e-05 0.0094967
0.072 4.08331e-05 3.1099e-05 0.0094967
0.084 3.53253e-05 2.77484e-05 0.0094967
0.096 3.11956e-05 2.88594e-05 0.0094967
0.108 2.68922e-05 3.13472e-05 0.0094967
0.12 2.35315e-05 3.80963e-05 0.0094967
0.144 1.84931e-05 3.60808e-05 0.0094967
0.192 0 5.66025e-05 0.0094967
0.24 0 4.86719e-05 0.0094967
0.288 0 4.93281e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 3 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000108116 1.48611e-05 0.0094967
0.048 6.21195e-05 1.84409e-05 0.0094967
0.06 5.08944e-05 2.11119e-05 0.0094967
0.072 4.34108e-05 2.78274e-05 0.0094967
0.084 3.80457e-05 2.90652e-05 0.0094967
0.096 3.40348e-05 3.00792e-05 0.0094967
0.108 2.97045e-05 2.73879e-05 0.0094967
0.12 2.63931e-05 2.90079e-05 0.0094967
0.144 2.14306e-05 3.16667e-05 0.0094967
0.192 0 5.4876e-05 0.0094967
0.24 0 4.58334e-05 0.0094967
0.288 0 5.14312e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 3 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000108715 1.38446e-05 0.0094967
0.048 6.30376e-05 1.73099e-05 0.0094967
0.06 5.20188e-05 2.47342e-05 0.0094967
0.072 4.46753e-05 2.12718e-05 0.0094967
0.084 3.941e-05 2.23959e-05 0.0094967
0.096 3.54715e-05 2.31961e-05 0.0094967
0.108 3.10915e-05 2.56086e-05 0.0094967
0.12 2.78471e-05 2.71789e-05 0.0094967
0.144 2.29847e-05 3.45276e-05 0.0094967
0.192 0 4.92535e-05 0.0094967
0.24 0 4.44419e-05 0.0094967
0.288 0 4.52273e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 3 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 5 OVER 4 UNDER 6
DIST count 12 width 0.024
0.024 9.53253e-05 3.6033e-05 0.0094967
0.048 4.38312e-05 4.75862e-05 0.0094967
0.06 3.214e-05 5.4126e-05 0.0094967
0.072 2.43526e-05 5.85227e-05 0.0094967
0.084 1.8784e-05 6.15787e-05 0.0094967
0.096 0 7.84793e-05 0.0094967
0.108 0 7.80846e-05 0.0094967
0.12 0 7.75172e-05 0.0094967
0.144 0 7.72949e-05 0.0094967
0.192 0 7.65643e-05 0.0094967
0.24 0 7.99629e-05 0.0094967
0.288 0 7.60243e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 4 UNDER 7
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000100706 3.0243e-05 0.0094967
0.048 5.28252e-05 3.3203e-05 0.0094967
0.06 4.11628e-05 4.2685e-05 0.0094967
0.072 3.33967e-05 4.09582e-05 0.0094967
0.084 2.78419e-05 4.80566e-05 0.0094967
0.096 2.36791e-05 4.48805e-05 0.0094967
0.108 1.98918e-05 5.2465e-05 0.0094967
0.12 0 6.66575e-05 0.0094967
0.144 0 7.02437e-05 0.0094967
0.192 0 6.37126e-05 0.0094967
0.24 0 6.18872e-05 0.0094967
0.288 0 6.74807e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 4 UNDER 8
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000102066 2.36389e-05 0.0094967
0.048 5.48648e-05 3.04289e-05 0.0094967
0.06 4.34773e-05 3.98516e-05 0.0094967
0.072 3.58859e-05 3.77004e-05 0.0094967
0.084 3.04679e-05 3.96799e-05 0.0094967
0.096 2.64008e-05 4.12231e-05 0.0094967
0.108 2.31701e-05 4.32663e-05 0.0094967
0.12 2.01148e-05 5.00458e-05 0.0094967
0.144 0 6.86895e-05 0.0094967
0.192 0 6.20306e-05 0.0094967
0.24 0 6.39372e-05 0.0094967
0.288 0 6.05503e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 4 UNDER 9
DIST count 12 width 0.024
0.024 0.000104358 2.11043e-05 0.0094967
0.048 5.75192e-05 2.66483e-05 0.0094967
0.06 4.66015e-05 3.00633e-05 0.0094967
0.072 3.93212e-05 3.74009e-05 0.0094967
0.084 3.4124e-05 3.39661e-05 0.0094967
0.096 2.78365e-05 3.93392e-05 0.0094967
0.108 2.38678e-05 4.71135e-05 0.0094967
0.12 2.09446e-05 4.39773e-05 0.0094967
0.144 0 6.34186e-05 0.0094967
0.192 0 6.66788e-05 0.0094967
0.24 0 5.83777e-05 0.0094967
0.288 0 6.47806e-05 0.0094967
END DIST

Metal 5 OVER 4 UNDER 10
DIST count 0 width 0.024
END DIST

Metal 6 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 6 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.032
0 0 0 0.0118795
0 0.032 0 0.0118795
0 0.064 0 0.0118795
0 0.08 0 0.0118795
0 0.096 0 0.0118795
0 0.128 0 0.0118795
0 0.144 0 0.0118795
0 0.16 0 0.0118795
0 0.192 0 0.0118795
0 0.256 0 0.0118795
0.032 0.032 0 0.0118795
0.032 0.064 0 0.0118795
0.032 0.08 0 0.0118795
0.032 0.096 0 0.0118795
0.032 0.128 0 0.0118795
0.032 0.144 0 0.0118795
0.032 0.16 0 0.0118795
0.032 0.192 0 0.0118795
0.032 0.256 0 0.0118795
0.064 0.064 0 0.0118795
0.064 0.08 0 0.0118795
0.064 0.096 0 0.0118795
0.064 0.128 0 0.0118795
0.064 0.144 0 0.0118795
0.064 0.16 0 0.0118795
0.064 0.192 0 0.0118795
0.064 0.256 0 0.0118795
0.08 0.08 0 0.0118795
0.08 0.096 0 0.0118795
0.08 0.128 0 0.0118795
0.08 0.144 0 0.0118795
0.08 0.16 0 0.0118795
0.08 0.192 0 0.0118795
0.08 0.256 0 0.0118795
0.096 0.096 0 0.0118795
0.096 0.128 0 0.0118795
0.096 0.144 0 0.0118795
0.096 0.16 0 0.0118795
0.096 0.192 0 0.0118795
0.096 0.256 0 0.0118795
0.128 0.128 0 0.0118795
0.128 0.144 0 0.0118795
0.128 0.16 0 0.0118795
0.128 0.192 0 0.0118795
0.128 0.256 0 0.0118795
0.144 0.144 0 0.0118795
0.144 0.16 0 0.0118795
0.144 0.192 0 0.0118795
0.144 0.256 0 0.0118795
0.16 0.16 0 0.0118795
0.16 0.192 0 0.0118795
0.16 0.256 0 0.0118795
0.192 0.192 0 0.0118795
0.192 0.256 0 0.0118795
0.256 0 0.256 0.0118795
END DIST

Metal 6 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 RESOVER 3
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 RESOVER 4
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 RESOVER 5
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 6 OVER 0
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000143096 1.04115e-05 0.00593974
0.048 8.19514e-05 1.19772e-05 0.00593974
0.06 6.97243e-05 1.22904e-05 0.00593974
0.072 6.1228e-05 1.27038e-05 0.00593974
0.084 5.50128e-05 1.30873e-05 0.00593974
0.096 5.03518e-05 1.33751e-05 0.00593974
0.108 4.67263e-05 1.8149e-05 0.00593974
0.12 4.38271e-05 1.37773e-05 0.00593974
0.144 3.83527e-05 1.95417e-05 0.00593974
0.192 3.1633e-05 1.62546e-05 0.00593974
0.24 2.71196e-05 1.81992e-05 0.00593974
0.288 0 4.75557e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 1
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000143096 1.49622e-05 0.00593974
0.048 8.19514e-05 1.19772e-05 0.00593974
0.06 6.97243e-05 1.22904e-05 0.00593974
0.072 6.1228e-05 1.27038e-05 0.00593974
0.084 5.50128e-05 1.30873e-05 0.00593974
0.096 5.03518e-05 1.33751e-05 0.00593974
0.108 4.67263e-05 1.8149e-05 0.00593974
0.12 4.38271e-05 1.37773e-05 0.00593974
0.144 3.83527e-05 1.4991e-05 0.00593974
0.192 3.1633e-05 1.62546e-05 0.00593974
0.24 2.71196e-05 1.81992e-05 0.00593974
0.288 0 4.75557e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 2
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139336 1.64167e-05 0.00593974
0.048 8.05831e-05 1.37038e-05 0.00593974
0.06 6.82633e-05 1.4138e-05 0.00593974
0.072 5.95217e-05 1.48788e-05 0.00593974
0.084 5.3051e-05 1.56008e-05 0.00593974
0.096 4.8198e-05 1.61425e-05 0.00593974
0.108 4.44234e-05 2.14505e-05 0.00593974
0.12 4.14037e-05 1.6901e-05 0.00593974
0.144 3.569e-05 1.85423e-05 0.00593974
0.192 2.85701e-05 2.0537e-05 0.00593974
0.24 2.38747e-05 2.28952e-05 0.00593974
0.288 0 4.47934e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 3
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000138682 1.89856e-05 0.00593974
0.048 7.94833e-05 1.93633e-05 0.00593974
0.06 6.70771e-05 1.55195e-05 0.00593974
0.072 5.82342e-05 1.64655e-05 0.00593974
0.084 5.16729e-05 1.73847e-05 0.00593974
0.096 4.67523e-05 1.80742e-05 0.00593974
0.108 4.2926e-05 2.38367e-05 0.00593974
0.12 3.98637e-05 1.9039e-05 0.00593974
0.144 3.4034e-05 2.09721e-05 0.00593974
0.192 2.67125e-05 2.34617e-05 0.00593974
0.24 2.19389e-05 3.12694e-05 0.00593974
0.288 0 4.62298e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 4
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000137238 1.76627e-05 0.00593974
0.048 7.71016e-05 2.11296e-05 0.00593974
0.06 6.45142e-05 1.89609e-05 0.00593974
0.072 5.54651e-05 2.03411e-05 0.00593974
0.084 4.87199e-05 2.16745e-05 0.00593974
0.096 4.36613e-05 2.26744e-05 0.00593974
0.108 3.97268e-05 2.72657e-05 0.00593974
0.12 3.65796e-05 2.40742e-05 0.00593974
0.144 3.07264e-05 2.64536e-05 0.00593974
0.192 2.33254e-05 2.97469e-05 0.00593974
0.24 1.85648e-05 3.64478e-05 0.00593974
0.288 0 4.99327e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 5
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000130228 2.95272e-05 0.00593974
0.048 6.86508e-05 3.90702e-05 0.00593974
0.06 5.58032e-05 3.49917e-05 0.00593974
0.072 4.66967e-05 3.76894e-05 0.00593974
0.084 3.99595e-05 4.02232e-05 0.00593974
0.096 3.49079e-05 4.21238e-05 0.00593974
0.108 3.09775e-05 4.95734e-05 0.00593974
0.12 2.7833e-05 4.47845e-05 0.00593974
0.144 2.24311e-05 4.79904e-05 0.00593974
0.192 1.58099e-05 5.24226e-05 0.00593974
0.24 0 7.32515e-05 0.00593974
0.288 0 6.67548e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 6 UNDER 7
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000133203 1.89081e-05 0.00593974
0.048 7.1038e-05 3.29024e-05 0.00593974
0.06 5.80587e-05 3.32631e-05 0.00593974
0.072 4.85615e-05 3.06368e-05 0.00593974
0.084 4.14155e-05 3.96257e-05 0.00593974
0.096 3.60571e-05 3.54538e-05 0.00593974
0.108 3.18887e-05 3.70606e-05 0.00593974
0.12 2.85537e-05 4.54304e-05 0.00593974
0.144 2.26781e-05 4.19728e-05 0.00593974
0.192 1.52298e-05 5.42476e-05 0.00593974
0.24 0 6.11173e-05 0.00593974
0.288 0 6.06082e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139362 1.16836e-05 0.00593974
0.048 7.87478e-05 1.3403e-05 0.00593974
0.06 6.60571e-05 1.43144e-05 0.00593974
0.072 5.67798e-05 2.01992e-05 0.00593974
0.084 4.98031e-05 1.73634e-05 0.00593974
0.096 4.45706e-05 1.84915e-05 0.00593974
0.108 4.05003e-05 2.52572e-05 0.00593974
0.12 3.72462e-05 2.00703e-05 0.00593974
0.144 3.09654e-05 2.28242e-05 0.00593974
0.192 2.28401e-05 2.67702e-05 0.00593974
0.24 1.78382e-05 3.49081e-05 0.00593974
0.288 0 4.57244e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000140415 1.0125e-05 0.00593974
0.048 8.08924e-05 1.06484e-05 0.00593974
0.06 6.84158e-05 1.13242e-05 0.00593974
0.072 5.93997e-05 1.59642e-05 0.00593974
0.084 5.26613e-05 1.78757e-05 0.00593974
0.096 4.76079e-05 1.43672e-05 0.00593974
0.108 4.36768e-05 2.01511e-05 0.00593974
0.12 4.05342e-05 1.55143e-05 0.00593974
0.144 3.43839e-05 1.77572e-05 0.00593974
0.192 2.64443e-05 2.08439e-05 0.00593974
0.24 2.15383e-05 2.26816e-05 0.00593974
0.288 0 4.25777e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 6 DIAGUNDER 7
DIST count 13 width 0.032
0 0 3.09635e-05 0.00593974
0.024 0 2.51706e-05 0.00593974
0.048 0 2.35234e-05 0.00593974
0.06 0 2.2707e-05 0.00593974
0.072 0 2.18906e-05 0.00593974
0.084 0 2.10742e-05 0.00593974
0.096 0 2.02572e-05 0.00593974
0.108 0 1.94408e-05 0.00593974
0.12 0 1.86243e-05 0.00593974
0.144 0 1.69909e-05 0.00593974
0.192 0 1.53314e-05 0.00593974
0.24 0 1.38581e-05 0.00593974
0.288 0 1.23848e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 DIAGUNDER 8
DIST count 13 width 0.032
0 0 1.52741e-05 0.00593974
0.024 0 1.51413e-05 0.00593974
0.048 0 1.47975e-05 0.00593974
0.06 0 1.45918e-05 0.00593974
0.072 0 1.43861e-05 0.00593974
0.084 0 1.41803e-05 0.00593974
0.096 0 1.39753e-05 0.00593974
0.108 0 1.37695e-05 0.00593974
0.12 0 1.35638e-05 0.00593974
0.144 0 1.3153e-05 0.00593974
0.192 0 1.23457e-05 0.00593974
0.24 0 1.15905e-05 0.00593974
0.288 0 1.08346e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 DIAGUNDER 9
DIST count 13 width 0.032
0 0 1.18867e-05 0.00593974
0.024 0 0 0.00593974
0.048 0 0 0.00593974
0.06 0 0 0.00593974
0.072 0 0 0.00593974
0.084 0 0 0.00593974
0.096 0 0 0.00593974
0.108 0 0 0.00593974
0.12 0 0 0.00593974
0.144 0 0 0.00593974
0.192 0 0 0.00593974
0.24 0 0 0.00593974
0.288 0 0 0.00593974
END DIST

Metal 6 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 6 OVER 1 UNDER 7
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000133203 2.13372e-05 0.00593974
0.048 7.10342e-05 3.53853e-05 0.00593974
0.06 5.80557e-05 3.57114e-05 0.00593974
0.072 4.85584e-05 3.30684e-05 0.00593974
0.084 4.1413e-05 4.20567e-05 0.00593974
0.096 3.60536e-05 3.78867e-05 0.00593974
0.108 3.18851e-05 3.94922e-05 0.00593974
0.12 2.8551e-05 4.78619e-05 0.00593974
0.144 2.26761e-05 4.44036e-05 0.00593974
0.192 1.52282e-05 5.67114e-05 0.00593974
0.24 0 6.35469e-05 0.00593974
0.288 0 6.30299e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 1 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139362 1.16836e-05 0.00593974
0.048 7.87478e-05 1.71646e-05 0.00593974
0.06 6.60571e-05 1.4315e-05 0.00593974
0.072 5.67798e-05 1.58594e-05 0.00593974
0.084 4.98031e-05 1.73632e-05 0.00593974
0.096 4.45706e-05 1.84916e-05 0.00593974
0.108 4.05003e-05 1.9369e-05 0.00593974
0.12 3.72462e-05 2.00709e-05 0.00593974
0.144 3.09654e-05 2.74916e-05 0.00593974
0.192 2.28401e-05 2.67702e-05 0.00593974
0.24 1.78382e-05 3.36867e-05 0.00593974
0.288 0 4.57242e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000140415 1.0125e-05 0.00593974
0.048 8.08924e-05 1.49766e-05 0.00593974
0.06 6.84158e-05 1.13242e-05 0.00593974
0.072 5.93997e-05 1.24518e-05 0.00593974
0.084 5.26613e-05 1.35462e-05 0.00593974
0.096 4.76079e-05 1.43672e-05 0.00593974
0.108 4.36768e-05 1.50051e-05 0.00593974
0.12 4.05342e-05 1.55143e-05 0.00593974
0.144 3.43839e-05 2.29023e-05 0.00593974
0.192 2.64443e-05 2.08439e-05 0.00593974
0.24 2.15383e-05 2.78275e-05 0.00593974
0.288 0 4.25777e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 OVER 2 UNDER 7
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000132413 1.73339e-05 0.00593974
0.048 6.95693e-05 3.34211e-05 0.00593974
0.06 5.64603e-05 3.39649e-05 0.00593974
0.072 4.67745e-05 3.29396e-05 0.00593974
0.084 3.94491e-05 4.07554e-05 0.00593974
0.096 3.39539e-05 3.8194e-05 0.00593974
0.108 2.96807e-05 3.99488e-05 0.00593974
0.12 2.62623e-05 4.70099e-05 0.00593974
0.144 2.05788e-05 4.48564e-05 0.00593974
0.192 1.31536e-05 5.58533e-05 0.00593974
0.24 0 6.2113e-05 0.00593974
0.288 0 6.16572e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 2 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000138665 9.70832e-06 0.00593974
0.048 7.72567e-05 2.06875e-05 0.00593974
0.06 6.44105e-05 1.64388e-05 0.00593974
0.072 5.49404e-05 1.82584e-05 0.00593974
0.084 4.77868e-05 2.00124e-05 0.00593974
0.096 4.24242e-05 2.13307e-05 0.00593974
0.108 3.8252e-05 2.23582e-05 0.00593974
0.12 3.49143e-05 2.31796e-05 0.00593974
0.144 2.8685e-05 3.21984e-05 0.00593974
0.192 2.03208e-05 3.04191e-05 0.00593974
0.24 1.52847e-05 3.91669e-05 0.00593974
0.288 0 4.72811e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 2 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139641 8.57556e-06 0.00593974
0.048 7.95205e-05 1.70209e-05 0.00593974
0.06 6.69285e-05 1.31094e-05 0.00593974
0.072 5.76846e-05 1.45325e-05 0.00593974
0.084 5.0716e-05 1.59368e-05 0.00593974
0.096 4.54932e-05 1.69935e-05 0.00593974
0.108 4.14294e-05 1.7817e-05 0.00593974
0.12 3.81784e-05 1.84753e-05 0.00593974
0.144 3.20065e-05 2.64127e-05 0.00593974
0.192 2.37872e-05 2.46413e-05 0.00593974
0.24 1.87919e-05 3.23371e-05 0.00593974
0.288 0 4.42401e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 2 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 OVER 3 UNDER 7
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000132064 1.79504e-05 0.00593974
0.048 6.86126e-05 3.66014e-05 0.00593974
0.06 5.53818e-05 3.72357e-05 0.00593974
0.072 4.56247e-05 3.44621e-05 0.00593974
0.084 3.82511e-05 4.44459e-05 0.00593974
0.096 3.27211e-05 3.99716e-05 0.00593974
0.108 2.84206e-05 4.18097e-05 0.00593974
0.12 2.49802e-05 5.09288e-05 0.00593974
0.144 1.92768e-05 4.68816e-05 0.00593974
0.192 0 7.17592e-05 0.00593974
0.24 0 6.30048e-05 0.00593974
0.288 0 6.26182e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 3 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000137654 1.08724e-05 0.00593974
0.048 7.61499e-05 2.2211e-05 0.00593974
0.06 6.32884e-05 1.78326e-05 0.00593974
0.072 5.37126e-05 1.98549e-05 0.00593974
0.084 4.64428e-05 2.1828e-05 0.00593974
0.096 4.09928e-05 2.33118e-05 0.00593974
0.108 3.67529e-05 2.44676e-05 0.00593974
0.12 3.33611e-05 2.53913e-05 0.00593974
0.144 2.71718e-05 3.47678e-05 0.00593974
0.192 1.87816e-05 3.29627e-05 0.00593974
0.24 1.37262e-05 4.21035e-05 0.00593974
0.288 0 4.85135e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 3 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000138957 9.06448e-06 0.00593974
0.048 7.84156e-05 1.74544e-05 0.00593974
0.06 6.57427e-05 1.46354e-05 0.00593974
0.072 5.63935e-05 1.6263e-05 0.00593974
0.084 4.93306e-05 1.78516e-05 0.00593974
0.096 4.40351e-05 1.90461e-05 0.00593974
0.108 3.99158e-05 1.99772e-05 0.00593974
0.12 3.66204e-05 2.0722e-05 0.00593974
0.144 3.044e-05 2.78801e-05 0.00593974
0.192 2.21177e-05 2.73464e-05 0.00593974
0.24 1.70761e-05 3.431e-05 0.00593974
0.288 0 4.55764e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 3 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 OVER 4 UNDER 7
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000130586 2.20677e-05 0.00593974
0.048 6.63096e-05 4.02674e-05 0.00593974
0.06 5.2922e-05 4.11244e-05 0.00593974
0.072 4.30237e-05 4.05019e-05 0.00593974
0.084 3.55337e-05 4.89816e-05 0.00593974
0.096 2.99176e-05 4.65395e-05 0.00593974
0.108 2.55493e-05 4.8553e-05 0.00593974
0.12 2.20544e-05 5.60088e-05 0.00593974
0.144 1.6626e-05 5.37473e-05 0.00593974
0.192 0 7.45644e-05 0.00593974
0.24 0 6.78999e-05 0.00593974
0.288 0 6.76148e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 4 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000136414 1.28489e-05 0.00593974
0.048 7.39719e-05 2.48268e-05 0.00593974
0.06 6.09284e-05 2.10912e-05 0.00593974
0.072 5.11643e-05 2.34773e-05 0.00593974
0.084 4.37306e-05 2.58139e-05 0.00593974
0.096 3.81553e-05 2.75663e-05 0.00593974
0.108 3.38191e-05 2.89225e-05 0.00593974
0.12 3.0352e-05 3.00175e-05 0.00593974
0.144 2.4238e-05 3.9103e-05 0.00593974
0.192 1.60055e-05 3.83178e-05 0.00593974
0.24 0 5.82372e-05 0.00593974
0.288 0 5.17418e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 4 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000137499 1.3666e-05 0.00593974
0.048 7.61032e-05 2.29551e-05 0.00593974
0.06 6.32633e-05 2.05396e-05 0.00593974
0.072 5.37383e-05 2.25242e-05 0.00593974
0.084 4.65192e-05 2.44643e-05 0.00593974
0.096 4.11057e-05 2.59194e-05 0.00593974
0.108 3.68957e-05 2.70514e-05 0.00593974
0.12 3.35273e-05 2.79565e-05 0.00593974
0.144 2.73685e-05 3.52257e-05 0.00593974
0.192 1.91094e-05 3.55269e-05 0.00593974
0.24 1.41329e-05 4.2365e-05 0.00593974
0.288 0 5.14921e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 4 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 6 OVER 5 UNDER 7
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000110344 2.81081e-05 0.00593974
0.048 5.08777e-05 5.02173e-05 0.00593974
0.06 3.89842e-05 5.1632e-05 0.00593974
0.072 3.04923e-05 5.0297e-05 0.00593974
0.084 2.41848e-05 6.00517e-05 0.00593974
0.096 1.94544e-05 5.67724e-05 0.00593974
0.108 1.57745e-05 5.89314e-05 0.00593974
0.12 0 8.04129e-05 0.00593974
0.144 0 7.2539e-05 0.00593974
0.192 0 7.8874e-05 0.00593974
0.24 0 7.16734e-05 0.00593974
0.288 0 7.15864e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 5 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000129259 2.44447e-05 0.00593974
0.048 6.56742e-05 4.54982e-05 0.00593974
0.06 5.24294e-05 3.9332e-05 0.00593974
0.072 4.27243e-05 4.28958e-05 0.00593974
0.084 3.54154e-05 4.62604e-05 0.00593974
0.096 2.99332e-05 4.87839e-05 0.00593974
0.108 2.56705e-05 5.07467e-05 0.00593974
0.12 2.22605e-05 5.23171e-05 0.00593974
0.144 1.68962e-05 6.53352e-05 0.00593974
0.192 0 7.11693e-05 0.00593974
0.24 0 7.95969e-05 0.00593974
0.288 0 6.99108e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 5 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000114257 2.04004e-05 0.00593974
0.048 5.94437e-05 3.59429e-05 0.00593974
0.06 4.80154e-05 3.20898e-05 0.00593974
0.072 3.96553e-05 3.49427e-05 0.00593974
0.084 3.33661e-05 3.76465e-05 0.00593974
0.096 2.86495e-05 3.96745e-05 0.00593974
0.108 2.49803e-05 4.1252e-05 0.00593974
0.12 2.20457e-05 4.25137e-05 0.00593974
0.144 1.72093e-05 5.21543e-05 0.00593974
0.192 0 6.11497e-05 0.00593974
0.24 0 6.66691e-05 0.00593974
0.288 0 5.98014e-05 0.00593974
END DIST

Metal 6 OVER 5 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 7 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.032
0 0 0 0.0125095
0 0.032 0 0.0125095
0 0.064 0 0.0125095
0 0.08 0 0.0125095
0 0.096 0 0.0125095
0 0.128 0 0.0125095
0 0.144 0 0.0125095
0 0.16 0 0.0125095
0 0.192 0 0.0125095
0 0.256 0 0.0125095
0.032 0.032 0 0.0125095
0.032 0.064 0 0.0125095
0.032 0.08 0 0.0125095
0.032 0.096 0 0.0125095
0.032 0.128 0 0.0125095
0.032 0.144 0 0.0125095
0.032 0.16 0 0.0125095
0.032 0.192 0 0.0125095
0.032 0.256 0 0.0125095
0.064 0.064 0 0.0125095
0.064 0.08 0 0.0125095
0.064 0.096 0 0.0125095
0.064 0.128 0 0.0125095
0.064 0.144 0 0.0125095
0.064 0.16 0 0.0125095
0.064 0.192 0 0.0125095
0.064 0.256 0 0.0125095
0.08 0.08 0 0.0125095
0.08 0.096 0 0.0125095
0.08 0.128 0 0.0125095
0.08 0.144 0 0.0125095
0.08 0.16 0 0.0125095
0.08 0.192 0 0.0125095
0.08 0.256 0 0.0125095
0.096 0.096 0 0.0125095
0.096 0.128 0 0.0125095
0.096 0.144 0 0.0125095
0.096 0.16 0 0.0125095
0.096 0.192 0 0.0125095
0.096 0.256 0 0.0125095
0.128 0.128 0 0.0125095
0.128 0.144 0 0.0125095
0.128 0.16 0 0.0125095
0.128 0.192 0 0.0125095
0.128 0.256 0 0.0125095
0.144 0.144 0 0.0125095
0.144 0.16 0 0.0125095
0.144 0.192 0 0.0125095
0.144 0.256 0 0.0125095
0.16 0.16 0 0.0125095
0.16 0.192 0 0.0125095
0.16 0.256 0 0.0125095
0.192 0.192 0 0.0125095
0.192 0.256 0 0.0125095
0.256 0 0.256 0.0125095
END DIST

Metal 7 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 RESOVER 3
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 RESOVER 4
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 RESOVER 5
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 RESOVER 6
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 7 OVER 0
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000143382 9.96683e-06 0.00625473
0.048 8.25701e-05 1.07311e-05 0.00625473
0.06 7.04078e-05 1.08841e-05 0.00625473
0.072 6.19635e-05 1.48737e-05 0.00625473
0.084 5.57891e-05 1.52077e-05 0.00625473
0.096 5.11575e-05 1.17988e-05 0.00625473
0.108 4.7555e-05 1.19935e-05 0.00625473
0.12 4.46728e-05 1.21497e-05 0.00625473
0.144 3.92535e-05 1.32409e-05 0.00625473
0.192 3.26202e-05 1.79452e-05 0.00625473
0.24 2.81342e-05 1.59304e-05 0.00625473
0.288 0 4.16532e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 1
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000143382 9.96683e-06 0.00625473
0.048 8.25701e-05 1.07311e-05 0.00625473
0.06 7.04078e-05 1.08841e-05 0.00625473
0.072 6.19635e-05 1.48737e-05 0.00625473
0.084 5.57891e-05 1.52077e-05 0.00625473
0.096 5.03734e-05 1.27807e-05 0.00625473
0.108 4.67333e-05 1.30201e-05 0.00625473
0.12 4.38201e-05 1.32115e-05 0.00625473
0.144 3.82723e-05 1.4476e-05 0.00625473
0.192 3.1487e-05 1.94122e-05 0.00625473
0.24 2.69189e-05 1.76145e-05 0.00625473
0.288 0 4.22129e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 2
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000140014 1.01993e-05 0.00625473
0.048 8.1634e-05 1.18261e-05 0.00625473
0.06 6.93871e-05 1.21504e-05 0.00625473
0.072 6.0818e-05 1.62989e-05 0.00625473
0.084 5.45248e-05 1.6765e-05 0.00625473
0.096 4.98049e-05 1.71152e-05 0.00625473
0.108 4.61328e-05 1.37285e-05 0.00625473
0.12 4.31965e-05 1.3946e-05 0.00625473
0.144 3.76051e-05 1.52963e-05 0.00625473
0.192 3.07149e-05 2.04233e-05 0.00625473
0.24 2.61107e-05 1.87727e-05 0.00625473
0.288 0 4.26331e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 3
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139633 1.06101e-05 0.00625473
0.048 8.11613e-05 1.23405e-05 0.00625473
0.06 6.88867e-05 1.63287e-05 0.00625473
0.072 6.02396e-05 1.69499e-05 0.00625473
0.084 5.38617e-05 1.75605e-05 0.00625473
0.096 4.90795e-05 1.80182e-05 0.00625473
0.108 4.53591e-05 1.47155e-05 0.00625473
0.12 4.23852e-05 1.49981e-05 0.00625473
0.144 3.67191e-05 1.64902e-05 0.00625473
0.192 2.96807e-05 2.1864e-05 0.00625473
0.24 2.50325e-05 2.02911e-05 0.00625473
0.288 0 4.32243e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 4
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139099 1.1276e-05 0.00625473
0.048 8.02529e-05 1.34427e-05 0.00625473
0.06 6.79152e-05 1.75346e-05 0.00625473
0.072 5.91585e-05 1.46451e-05 0.00625473
0.084 5.26761e-05 1.5401e-05 0.00625473
0.096 4.78126e-05 1.96262e-05 0.00625473
0.108 4.4031e-05 1.64089e-05 0.00625473
0.12 4.10054e-05 2.04199e-05 0.00625473
0.144 3.52296e-05 2.21699e-05 0.00625473
0.192 2.80235e-05 2.43268e-05 0.00625473
0.24 2.32983e-05 2.29903e-05 0.00625473
0.288 0 4.43611e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 5
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000138049 1.2403e-05 0.00625473
0.048 7.83035e-05 1.59133e-05 0.00625473
0.06 6.57919e-05 2.0274e-05 0.00625473
0.072 5.68437e-05 1.77533e-05 0.00625473
0.084 5.01926e-05 1.88535e-05 0.00625473
0.096 4.52043e-05 2.33372e-05 0.00625473
0.108 4.13255e-05 2.03202e-05 0.00625473
0.12 3.8221e-05 2.44922e-05 0.00625473
0.144 3.2359e-05 2.66615e-05 0.00625473
0.192 2.49634e-05 2.9584e-05 0.00625473
0.24 2.01645e-05 2.86568e-05 0.00625473
0.288 0 4.72928e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 6
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000132733 1.90807e-05 0.00625473
0.048 7.13044e-05 2.69863e-05 0.00625473
0.06 5.8476e-05 3.22267e-05 0.00625473
0.072 4.92934e-05 3.09101e-05 0.00625473
0.084 4.24608e-05 3.3136e-05 0.00625473
0.096 3.73385e-05 3.84871e-05 0.00625473
0.108 3.33514e-05 3.60982e-05 0.00625473
0.12 3.01634e-05 4.07962e-05 0.00625473
0.144 2.45673e-05 4.38514e-05 0.00625473
0.192 1.76175e-05 4.44859e-05 0.00625473
0.24 1.31704e-05 4.78724e-05 0.00625473
0.288 0 6.39437e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 7 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000137339 1.96967e-05 0.00625473
0.048 7.56925e-05 2.10208e-05 0.00625473
0.06 5.85426e-05 3.2181e-05 0.00625473
0.072 4.90092e-05 3.1952e-05 0.00625473
0.084 4.18163e-05 3.46954e-05 0.00625473
0.096 3.64281e-05 3.67598e-05 0.00625473
0.108 3.22379e-05 3.83652e-05 0.00625473
0.12 2.88838e-05 4.27649e-05 0.00625473
0.144 2.30884e-05 4.3183e-05 0.00625473
0.192 1.57422e-05 4.82376e-05 0.00625473
0.24 0 6.25799e-05 0.00625473
0.288 0 6.53794e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000141106 1.50358e-05 0.00625473
0.048 8.06186e-05 1.63196e-05 0.00625473
0.06 6.81595e-05 1.36524e-05 0.00625473
0.072 5.92595e-05 1.46556e-05 0.00625473
0.084 5.26458e-05 1.56016e-05 0.00625473
0.096 4.76832e-05 1.63568e-05 0.00625473
0.108 4.38228e-05 1.69192e-05 0.00625473
0.12 4.07383e-05 2.06633e-05 0.00625473
0.144 3.4834e-05 1.94003e-05 0.00625473
0.192 2.73266e-05 2.21042e-05 0.00625473
0.24 1.91156e-05 2.89148e-05 0.00625473
0.288 0 4.66974e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 7 DIAGUNDER 8
DIST count 13 width 0.032
0 0 2.94147e-05 0.00625473
0.024 0 2.68424e-05 0.00625473
0.048 0 2.52038e-05 0.00625473
0.06 0 2.44193e-05 0.00625473
0.072 0 2.36348e-05 0.00625473
0.084 0 2.28503e-05 0.00625473
0.096 0 2.20658e-05 0.00625473
0.108 0 2.12812e-05 0.00625473
0.12 0 2.04974e-05 0.00625473
0.144 0 1.89284e-05 0.00625473
0.192 0 1.62266e-05 0.00625473
0.24 0 1.49902e-05 0.00625473
0.288 0 1.37539e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 DIAGUNDER 9
DIST count 13 width 0.032
0 0 1.49336e-05 0.00625473
0.024 0 1.52865e-05 0.00625473
0.048 0 1.50013e-05 0.00625473
0.06 0 1.43796e-05 0.00625473
0.072 0 1.42129e-05 0.00625473
0.084 0 1.40469e-05 0.00625473
0.096 0 1.38802e-05 0.00625473
0.108 0 1.37142e-05 0.00625473
0.12 0 1.35221e-05 0.00625473
0.144 0 1.31126e-05 0.00625473
0.192 0 1.22936e-05 0.00625473
0.24 0 1.1474e-05 0.00625473
0.288 0 1.06549e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.032

Metal 7 OVER 1 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000137339 1.64824e-05 0.00625473
0.048 7.56925e-05 2.10208e-05 0.00625473
0.06 6.30188e-05 2.22924e-05 0.00625473
0.072 5.38957e-05 2.73029e-05 0.00625473
0.084 4.70886e-05 2.60436e-05 0.00625473
0.096 4.19807e-05 2.74369e-05 0.00625473
0.108 3.80088e-05 3.16282e-05 0.00625473
0.12 3.48322e-05 2.93458e-05 0.00625473
0.144 2.25249e-05 4.7196e-05 0.00625473
0.192 1.50406e-05 4.93262e-05 0.00625473
0.24 0 6.61994e-05 0.00625473
0.288 0 6.25786e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000140009 1.15755e-06 0.00625473
0.048 7.89266e-05 1.49271e-05 0.00625473
0.06 6.62979e-05 1.57786e-05 0.00625473
0.072 5.7026e-05 2.05325e-05 0.00625473
0.084 5.00428e-05 1.8793e-05 0.00625473
0.096 4.48061e-05 1.99056e-05 0.00625473
0.108 4.07329e-05 2.40578e-05 0.00625473
0.12 3.74803e-05 2.14154e-05 0.00625473
0.144 3.13103e-05 2.40417e-05 0.00625473
0.192 2.32113e-05 2.79538e-05 0.00625473
0.24 1.82521e-05 3.02495e-05 0.00625473
0.288 0 4.72352e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 OVER 2 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000133016 9.90621e-06 0.00625473
0.048 7.06368e-05 2.81061e-05 0.00625473
0.06 5.76093e-05 2.99752e-05 0.00625473
0.072 4.80381e-05 3.62044e-05 0.00625473
0.084 4.08239e-05 3.91269e-05 0.00625473
0.096 3.54141e-05 4.11694e-05 0.00625473
0.108 3.12073e-05 4.28964e-05 0.00625473
0.12 2.78454e-05 4.11697e-05 0.00625473
0.144 2.2001e-05 4.48014e-05 0.00625473
0.192 1.4543e-05 5.01583e-05 0.00625473
0.24 0 6.3309e-05 0.00625473
0.288 0 6.2885e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 2 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139714 1.60482e-06 0.00625473
0.048 7.85289e-05 1.55221e-05 0.00625473
0.06 6.58708e-05 1.64096e-05 0.00625473
0.072 5.65765e-05 1.79512e-05 0.00625473
0.084 4.95742e-05 2.27701e-05 0.00625473
0.096 4.43227e-05 2.39029e-05 0.00625473
0.108 4.02383e-05 2.47839e-05 0.00625473
0.12 3.69781e-05 2.2151e-05 0.00625473
0.144 3.07737e-05 2.47792e-05 0.00625473
0.192 2.25583e-05 3.20893e-05 0.00625473
0.24 1.75359e-05 3.11314e-05 0.00625473
0.288 0 4.74643e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 2 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 OVER 3 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000132905 1.04629e-05 0.00625473
0.048 7.02062e-05 2.89187e-05 0.00625473
0.06 5.70908e-05 3.38718e-05 0.00625473
0.072 4.74724e-05 3.3918e-05 0.00625473
0.084 4.02244e-05 4.00487e-05 0.00625473
0.096 3.47814e-05 4.22774e-05 0.00625473
0.108 3.05475e-05 4.07293e-05 0.00625473
0.12 2.7151e-05 4.23022e-05 0.00625473
0.144 2.13545e-05 4.58628e-05 0.00625473
0.192 1.38751e-05 5.43296e-05 0.00625473
0.24 0 6.3615e-05 0.00625473
0.288 0 6.63601e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 3 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000139251 2.51693e-06 0.00625473
0.048 7.80461e-05 1.62434e-05 0.00625473
0.06 6.53658e-05 2.03014e-05 0.00625473
0.072 5.60208e-05 1.86731e-05 0.00625473
0.084 4.89589e-05 2.02786e-05 0.00625473
0.096 4.36545e-05 2.48008e-05 0.00625473
0.108 3.95296e-05 2.23866e-05 0.00625473
0.12 3.62147e-05 2.3138e-05 0.00625473
0.144 3.00178e-05 2.58159e-05 0.00625473
0.192 2.17227e-05 3.33247e-05 0.00625473
0.24 1.67048e-05 3.24433e-05 0.00625473
0.288 0 5.12887e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 3 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 OVER 4 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.0001321 1.44786e-05 0.00625473
0.048 6.93529e-05 2.99122e-05 0.00625473
0.06 5.62174e-05 3.50618e-05 0.00625473
0.072 4.64719e-05 3.52024e-05 0.00625473
0.084 3.91147e-05 3.8332e-05 0.00625473
0.096 3.35874e-05 4.05853e-05 0.00625473
0.108 2.92889e-05 4.22669e-05 0.00625473
0.12 2.58535e-05 4.69916e-05 0.00625473
0.144 2.01564e-05 4.73165e-05 0.00625473
0.192 0 6.55584e-05 0.00625473
0.24 0 6.43689e-05 0.00625473
0.288 0 6.70227e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 4 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000138853 6.02865e-06 0.00625473
0.048 7.72176e-05 2.06016e-05 0.00625473
0.06 6.44338e-05 2.1632e-05 0.00625473
0.072 5.49435e-05 2.01042e-05 0.00625473
0.084 4.77841e-05 2.18561e-05 0.00625473
0.096 4.24037e-05 2.31341e-05 0.00625473
0.108 3.82193e-05 2.41223e-05 0.00625473
0.12 3.48766e-05 2.82688e-05 0.00625473
0.144 2.86651e-05 2.77473e-05 0.00625473
0.192 2.02866e-05 3.21661e-05 0.00625473
0.24 1.52301e-05 3.4795e-05 0.00625473
0.288 0 4.8961e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 4 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 OVER 5 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000130761 1.61081e-05 0.00625473
0.048 6.73969e-05 3.55261e-05 0.00625473
0.06 5.40987e-05 3.45931e-05 0.00625473
0.072 4.42238e-05 3.81276e-05 0.00625473
0.084 3.6764e-05 4.15174e-05 0.00625473
0.096 3.11602e-05 4.39549e-05 0.00625473
0.108 2.68012e-05 4.57714e-05 0.00625473
0.12 2.33188e-05 5.06327e-05 0.00625473
0.144 1.77823e-05 5.41197e-05 0.00625473
0.192 0 6.72488e-05 0.00625473
0.24 0 6.94311e-05 0.00625473
0.288 0 6.59263e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 5 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000137642 4.24544e-06 0.00625473
0.048 7.54453e-05 2.28419e-05 0.00625473
0.06 6.25122e-05 2.07344e-05 0.00625473
0.072 5.28177e-05 2.28861e-05 0.00625473
0.084 4.54647e-05 2.50411e-05 0.00625473
0.096 3.99402e-05 2.66113e-05 0.00625473
0.108 3.56435e-05 2.7825e-05 0.00625473
0.12 3.22097e-05 2.88822e-05 0.00625473
0.144 2.60395e-05 3.52154e-05 0.00625473
0.192 1.76895e-05 3.6746e-05 0.00625473
0.24 0 5.56777e-05 0.00625473
0.288 0 5.15625e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 5 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 7 OVER 6 UNDER 8
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.00012738 2.06289e-05 0.00625473
0.048 6.05469e-05 4.3084e-05 0.00625473
0.06 4.69626e-05 4.62011e-05 0.00625473
0.072 3.70967e-05 5.3854e-05 0.00625473
0.084 2.97092e-05 5.47219e-05 0.00625473
0.096 2.41626e-05 5.77667e-05 0.00625473
0.108 1.98518e-05 6.31653e-05 0.00625473
0.12 1.6404e-05 6.21436e-05 0.00625473
0.144 0 8.04107e-05 0.00625473
0.192 0 7.64592e-05 0.00625473
0.24 0 7.92861e-05 0.00625473
0.288 0 7.57507e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 6 UNDER 9
DIST count 12 width 0.032
0.024 0.000136921 1.25268e-05 0.00625473
0.048 7.5248e-05 2.11478e-05 0.00625473
0.06 6.24755e-05 2.24557e-05 0.00625473
0.072 5.32495e-05 2.76438e-05 0.00625473
0.084 4.6349e-05 2.62357e-05 0.00625473
0.096 4.11746e-05 2.76367e-05 0.00625473
0.108 3.71526e-05 3.20227e-05 0.00625473
0.12 3.3934e-05 2.96203e-05 0.00625473
0.144 2.11986e-05 4.50367e-05 0.00625473
0.192 1.40016e-05 5.00014e-05 0.00625473
0.24 0 6.38578e-05 0.00625473
0.288 0 6.34265e-05 0.00625473
END DIST

Metal 7 OVER 6 UNDER 10
DIST count 0 width 0.032
END DIST

Metal 8 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 8 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.04
0 0 0 0.00844656
0 0.04 0 0.00844656
0 0.08 0 0.00844656
0 0.1 0 0.00844656
0 0.12 0 0.00844656
0 0.16 0 0.00844656
0 0.18 0 0.00844656
0 0.2 0 0.00844656
0 0.24 0 0.00844656
0 0.32 0 0.00844656
0.04 0.04 0 0.00844656
0.04 0.08 0 0.00844656
0.04 0.1 0 0.00844656
0.04 0.12 0 0.00844656
0.04 0.16 0 0.00844656
0.04 0.18 0 0.00844656
0.04 0.2 0 0.00844656
0.04 0.24 0 0.00844656
0.04 0.32 0 0.00844656
0.08 0.08 0 0.00844656
0.08 0.1 0 0.00844656
0.08 0.12 0 0.00844656
0.08 0.16 0 0.00844656
0.08 0.18 0 0.00844656
0.08 0.2 0 0.00844656
0.08 0.24 0 0.00844656
0.08 0.32 0 0.00844656
0.1 0.1 0 0.00844656
0.1 0.12 0 0.00844656
0.1 0.16 0 0.00844656
0.1 0.18 0 0.00844656
0.1 0.2 0 0.00844656
0.1 0.24 0 0.00844656
0.1 0.32 0 0.00844656
0.12 0.12 0 0.00844656
0.12 0.16 0 0.00844656
0.12 0.18 0 0.00844656
0.12 0.2 0 0.00844656
0.12 0.24 0 0.00844656
0.12 0.32 0 0.00844656
0.16 0.16 0 0.00844656
0.16 0.18 0 0.00844656
0.16 0.2 0 0.00844656
0.16 0.24 0 0.00844656
0.16 0.32 0 0.00844656
0.18 0.18 0 0.00844656
0.18 0.2 0 0.00844656
0.18 0.24 0 0.00844656
0.18 0.32 0 0.00844656
0.2 0.2 0 0.00844656
0.2 0.24 0 0.00844656
0.2 0.32 0 0.00844656
0.24 0.24 0 0.00844656
0.24 0.32 0 0.00844656
0.32 0 0.32 0.00844656
END DIST

Metal 8 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 RESOVER 3
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 RESOVER 4
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 RESOVER 5
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 RESOVER 6
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 RESOVER 7
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 8 OVER 0
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000113955 7.30467e-06 0.00422328
0.08 6.75386e-05 8.22551e-06 0.00422328
0.1 5.76855e-05 8.71405e-06 0.00422328
0.12 5.11167e-05 9.04014e-06 0.00422328
0.14 4.64251e-05 9.27297e-06 0.00422328
0.16 4.2906e-05 1.28921e-05 0.00422328
0.18 3.89843e-05 1.39053e-05 0.00422328
0.2 3.624e-05 1.08775e-05 0.00422328
0.24 3.21233e-05 1.49489e-05 0.00422328
0.32 2.65379e-05 1.66017e-05 0.00422328
0.4 0 2.75599e-05 0.00422328
0.48 0 3.10046e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 1
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000111185 7.73907e-06 0.00422328
0.08 6.70886e-05 8.80941e-06 0.00422328
0.1 5.71758e-05 9.37088e-06 0.00422328
0.12 5.05679e-05 9.74476e-06 0.00422328
0.14 4.5847e-05 1.00119e-05 0.00422328
0.16 4.23075e-05 1.40114e-05 0.00422328
0.18 3.82664e-05 1.13718e-05 0.00422328
0.2 3.54509e-05 1.56808e-05 0.00422328
0.24 3.12283e-05 1.64459e-05 0.00422328
0.32 2.55028e-05 1.84641e-05 0.00422328
0.4 0 2.88807e-05 0.00422328
0.48 0 3.27643e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 2
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000110988 8.07131e-06 0.00422328
0.08 6.67367e-05 1.29141e-05 0.00422328
0.1 5.67695e-05 9.80318e-06 0.00422328
0.12 5.01247e-05 1.39557e-05 0.00422328
0.14 4.53789e-05 1.42531e-05 0.00422328
0.16 4.18199e-05 1.07396e-05 0.00422328
0.18 3.77393e-05 1.19818e-05 0.00422328
0.2 3.48917e-05 1.62953e-05 0.00422328
0.24 3.06205e-05 1.34256e-05 0.00422328
0.32 2.4852e-05 1.56416e-05 0.00422328
0.4 0 2.97193e-05 0.00422328
0.48 0 2.98495e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 3
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000110367 1.27005e-05 0.00422328
0.08 6.63903e-05 1.33713e-05 0.00422328
0.1 5.63179e-05 1.41735e-05 0.00422328
0.12 4.96032e-05 1.47084e-05 0.00422328
0.14 4.48065e-05 1.509e-05 0.00422328
0.16 4.12079e-05 1.15416e-05 0.00422328
0.18 3.71111e-05 1.28385e-05 0.00422328
0.2 3.42251e-05 1.34864e-05 0.00422328
0.24 2.98936e-05 1.44573e-05 0.00422328
0.32 2.40708e-05 1.66016e-05 0.00422328
0.4 0 3.07048e-05 0.00422328
0.48 0 3.08806e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 4
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000110371 1.26027e-05 0.00422328
0.08 6.57622e-05 1.0262e-05 0.00422328
0.1 5.56114e-05 1.4912e-05 0.00422328
0.12 4.88455e-05 1.18479e-05 0.00422328
0.14 4.40115e-05 1.23015e-05 0.00422328
0.16 4.03868e-05 1.26417e-05 0.00422328
0.18 3.61993e-05 1.78052e-05 0.00422328
0.2 3.32521e-05 1.48776e-05 0.00422328
0.24 2.88299e-05 1.60343e-05 0.00422328
0.32 2.29221e-05 1.83547e-05 0.00422328
0.4 0 3.59345e-05 0.00422328
0.48 0 3.24678e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 5
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000109522 9.8089e-06 0.00422328
0.08 6.46445e-05 1.16016e-05 0.00422328
0.1 5.43306e-05 1.67088e-05 0.00422328
0.12 4.7456e-05 1.36423e-05 0.00422328
0.14 4.25439e-05 1.42251e-05 0.00422328
0.16 3.88602e-05 1.85448e-05 0.00422328
0.18 3.45908e-05 2.02443e-05 0.00422328
0.2 3.15817e-05 1.73155e-05 0.00422328
0.24 2.70664e-05 2.26303e-05 0.00422328
0.32 2.1067e-05 2.15099e-05 0.00422328
0.4 0 3.86174e-05 0.00422328
0.48 0 3.89385e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 6
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000107789 1.19646e-05 0.00422328
0.08 6.23925e-05 1.46964e-05 0.00422328
0.1 5.17136e-05 1.66261e-05 0.00422328
0.12 4.45929e-05 1.79073e-05 0.00422328
0.14 3.95098e-05 1.88254e-05 0.00422328
0.16 3.56952e-05 2.23757e-05 0.00422328
0.18 3.14202e-05 2.44245e-05 0.00422328
0.2 2.8348e-05 2.57163e-05 0.00422328
0.24 2.3741e-05 2.76563e-05 0.00422328
0.32 1.76946e-05 3.07187e-05 0.00422328
0.4 0 3.97897e-05 0.00422328
0.48 0 4.2884e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 7
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100356 2.35892e-05 0.00422328
0.08 5.37188e-05 3.47095e-05 0.00422328
0.1 4.30181e-05 3.41279e-05 0.00422328
0.12 3.58821e-05 4.10219e-05 0.00422328
0.14 3.07863e-05 3.84739e-05 0.00422328
0.16 2.69643e-05 3.98345e-05 0.00422328
0.18 2.31099e-05 4.24778e-05 0.00422328
0.2 2.03239e-05 4.86557e-05 0.00422328
0.24 1.61455e-05 5.11574e-05 0.00422328
0.32 1.0717e-05 5.51409e-05 0.00422328
0.4 0 5.72786e-05 0.00422328
0.48 0 5.81052e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 UNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 8 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100451 2.58495e-05 0.00422328
0.08 5.3166e-05 3.59885e-05 0.00422328
0.1 4.20615e-05 4.08214e-05 0.00422328
0.12 3.4659e-05 3.98633e-05 0.00422328
0.14 2.9372e-05 4.6265e-05 0.00422328
0.16 2.5407e-05 4.79526e-05 0.00422328
0.18 2.14893e-05 4.67447e-05 0.00422328
0.2 1.86418e-05 4.88113e-05 0.00422328
0.24 1.4372e-05 5.60023e-05 0.00422328
0.32 0 6.47601e-05 0.00422328
0.4 0 6.91152e-05 0.00422328
0.48 0 6.46126e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 DIAGUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 8 DIAGUNDER 9
DIST count 13 width 0.04
0 0 3.54516e-05 0.00422328
0.04 0 2.71292e-05 0.00422328
0.08 0 2.44188e-05 0.00422328
0.1 0 2.30635e-05 0.00422328
0.12 0 2.17083e-05 0.00422328
0.14 0 2.03531e-05 0.00422328
0.16 0 1.89979e-05 0.00422328
0.18 0 1.76427e-05 0.00422328
0.2 0 1.65781e-05 0.00422328
0.24 0 1.55281e-05 0.00422328
0.32 0 1.34292e-05 0.00422328
0.4 0 0 0.00422328
0.48 0 0 0.00422328
END DIST

Metal 8 DIAGUNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 8 OVER 1 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100451 2.58498e-05 0.00422328
0.08 5.3166e-05 3.60949e-05 0.00422328
0.1 4.20615e-05 4.08236e-05 0.00422328
0.12 3.4659e-05 3.98635e-05 0.00422328
0.14 2.9372e-05 4.6227e-05 0.00422328
0.16 2.5407e-05 4.79156e-05 0.00422328
0.18 2.14893e-05 4.67448e-05 0.00422328
0.2 1.86418e-05 4.88107e-05 0.00422328
0.24 1.4372e-05 5.59782e-05 0.00422328
0.32 0 6.47602e-05 0.00422328
0.4 0 6.91148e-05 0.00422328
0.48 0 6.46134e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 1 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVER 2 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100451 2.58498e-05 0.00422328
0.08 5.3166e-05 3.74182e-05 0.00422328
0.1 4.20615e-05 4.22515e-05 0.00422328
0.12 3.4659e-05 3.98635e-05 0.00422328
0.14 2.9372e-05 4.76951e-05 0.00422328
0.16 2.5407e-05 4.93833e-05 0.00422328
0.18 2.14893e-05 4.67448e-05 0.00422328
0.2 1.86418e-05 4.88107e-05 0.00422328
0.24 1.4372e-05 5.74331e-05 0.00422328
0.32 0 6.47602e-05 0.00422328
0.4 0 7.05446e-05 0.00422328
0.48 0 6.46134e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 2 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVER 3 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100451 2.58495e-05 0.00422328
0.08 5.3166e-05 3.612e-05 0.00422328
0.1 4.20615e-05 4.08483e-05 0.00422328
0.12 3.4659e-05 3.98633e-05 0.00422328
0.14 2.9372e-05 4.62273e-05 0.00422328
0.16 2.5407e-05 4.78902e-05 0.00422328
0.18 2.14893e-05 4.67447e-05 0.00422328
0.2 1.86418e-05 4.88113e-05 0.00422328
0.24 1.4372e-05 5.60033e-05 0.00422328
0.32 0 6.47601e-05 0.00422328
0.4 0 6.90892e-05 0.00422328
0.48 0 6.46126e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 3 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVER 4 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 9.91579e-05 2.52229e-05 0.00422328
0.08 5.13803e-05 3.87004e-05 0.00422328
0.1 3.99659e-05 4.38771e-05 0.00422328
0.12 3.23581e-05 4.28015e-05 0.00422328
0.14 2.69209e-05 4.97113e-05 0.00422328
0.16 2.2846e-05 5.15421e-05 0.00422328
0.18 1.92497e-05 4.97499e-05 0.00422328
0.2 1.64267e-05 5.1846e-05 0.00422328
0.24 1.21922e-05 5.94207e-05 0.00422328
0.32 0 6.59086e-05 0.00422328
0.4 0 7.02139e-05 0.00422328
0.48 0 6.53688e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 4 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVER 5 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 9.85242e-05 2.6236e-05 0.00422328
0.08 5.03633e-05 4.15548e-05 0.00422328
0.1 3.87724e-05 4.69734e-05 0.00422328
0.12 3.1047e-05 4.44106e-05 0.00422328
0.14 2.55258e-05 5.30846e-05 0.00422328
0.16 2.13876e-05 5.49639e-05 0.00422328
0.18 1.79295e-05 5.15231e-05 0.00422328
0.2 1.51601e-05 5.36474e-05 0.00422328
0.24 1.10066e-05 6.29011e-05 0.00422328
0.32 0 6.66747e-05 0.00422328
0.4 0 7.2337e-05 0.00422328
0.48 0 6.58548e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 5 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVER 6 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 9.67874e-05 2.84667e-05 0.00422328
0.08 4.78884e-05 4.33621e-05 0.00422328
0.1 3.62283e-05 4.90715e-05 0.00422328
0.12 2.84576e-05 4.83029e-05 0.00422328
0.14 2.29073e-05 5.56002e-05 0.00422328
0.16 1.87432e-05 5.76254e-05 0.00422328
0.18 1.54423e-05 5.5693e-05 0.00422328
0.2 1.28294e-05 5.7766e-05 0.00422328
0.24 0 7.43008e-05 0.00422328
0.32 0 6.88185e-05 0.00422328
0.4 0 7.16685e-05 0.00422328
0.48 0 6.78475e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 6 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 8 OVER 7 UNDER 9
DIST count 12 width 0.04
0.04 9.12586e-05 3.98604e-05 0.00422328
0.08 3.96571e-05 6.01516e-05 0.00422328
0.1 2.84157e-05 6.70094e-05 0.00422328
0.12 2.09234e-05 6.52543e-05 0.00422328
0.14 1.55719e-05 7.43855e-05 0.00422328
0.16 1.15579e-05 7.68372e-05 0.00422328
0.18 0 8.22802e-05 0.00422328
0.2 0 8.20771e-05 0.00422328
0.24 0 8.76166e-05 0.00422328
0.32 0 8.14017e-05 0.00422328
0.4 0 8.57423e-05 0.00422328
0.48 0 8.06064e-05 0.00422328
END DIST

Metal 8 OVER 7 UNDER 10
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 9 RESOVER 0
DIST count 55 width 0.04
0 0 0 0.00889465
0 0.04 0 0.00889465
0 0.08 0 0.00889465
0 0.1 0 0.00889465
0 0.12 0 0.00889465
0 0.16 0 0.00889465
0 0.18 0 0.00889465
0 0.2 0 0.00889465
0 0.24 0 0.00889465
0 0.32 0 0.00889465
0.04 0.04 0 0.00889465
0.04 0.08 0 0.00889465
0.04 0.1 0 0.00889465
0.04 0.12 0 0.00889465
0.04 0.16 0 0.00889465
0.04 0.18 0 0.00889465
0.04 0.2 0 0.00889465
0.04 0.24 0 0.00889465
0.04 0.32 0 0.00889465
0.08 0.08 0 0.00889465
0.08 0.1 0 0.00889465
0.08 0.12 0 0.00889465
0.08 0.16 0 0.00889465
0.08 0.18 0 0.00889465
0.08 0.2 0 0.00889465
0.08 0.24 0 0.00889465
0.08 0.32 0 0.00889465
0.1 0.1 0 0.00889465
0.1 0.12 0 0.00889465
0.1 0.16 0 0.00889465
0.1 0.18 0 0.00889465
0.1 0.2 0 0.00889465
0.1 0.24 0 0.00889465
0.1 0.32 0 0.00889465
0.12 0.12 0 0.00889465
0.12 0.16 0 0.00889465
0.12 0.18 0 0.00889465
0.12 0.2 0 0.00889465
0.12 0.24 0 0.00889465
0.12 0.32 0 0.00889465
0.16 0.16 0 0.00889465
0.16 0.18 0 0.00889465
0.16 0.2 0 0.00889465
0.16 0.24 0 0.00889465
0.16 0.32 0 0.00889465
0.18 0.18 0 0.00889465
0.18 0.2 0 0.00889465
0.18 0.24 0 0.00889465
0.18 0.32 0 0.00889465
0.2 0.2 0 0.00889465
0.2 0.24 0 0.00889465
0.2 0.32 0 0.00889465
0.24 0.24 0 0.00889465
0.24 0.32 0 0.00889465
0.32 0 0.32 0.00889465
END DIST

Metal 9 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER 3
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER 4
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER 5
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER 6
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER 7
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 RESOVER 8
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 9 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 9 OVER 0
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000113876 8.09639e-06 0.00444732
0.08 6.63878e-05 1.1173e-05 0.00444732
0.1 5.61035e-05 9.27917e-06 0.00444732
0.12 4.92468e-05 1.20307e-05 0.00444732
0.14 4.43496e-05 1.22755e-05 0.00444732
0.16 4.0677e-05 1.0051e-05 0.00444732
0.18 3.68372e-05 1.08682e-05 0.00444732
0.2 3.40374e-05 1.12516e-05 0.00444732
0.24 2.98364e-05 1.18261e-05 0.00444732
0.32 2.42259e-05 1.35141e-05 0.00444732
0.4 0 2.61713e-05 0.00444732
0.48 0 2.61713e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 1
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000113876 1.05047e-05 0.00444732
0.08 6.63878e-05 8.76462e-06 0.00444732
0.1 5.61035e-05 1.16875e-05 0.00444732
0.12 4.92468e-05 1.20307e-05 0.00444732
0.14 4.43496e-05 1.22755e-05 0.00444732
0.16 4.0677e-05 1.0051e-05 0.00444732
0.18 3.68372e-05 1.08682e-05 0.00444732
0.2 3.40374e-05 1.12516e-05 0.00444732
0.24 2.92293e-05 1.2614e-05 0.00444732
0.32 2.35465e-05 1.44166e-05 0.00444732
0.4 0 2.94714e-05 0.00444732
0.48 0 2.71271e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 2
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000111151 1.10437e-05 0.00444732
0.08 6.58959e-05 9.39271e-06 0.00444732
0.1 5.55018e-05 1.24734e-05 0.00444732
0.12 4.8573e-05 1.05125e-05 0.00444732
0.14 4.36243e-05 1.08318e-05 0.00444732
0.16 3.99111e-05 1.10714e-05 0.00444732
0.18 3.60211e-05 1.43744e-05 0.00444732
0.2 3.31563e-05 1.24385e-05 0.00444732
0.24 2.88591e-05 1.31433e-05 0.00444732
0.32 2.31531e-05 1.50369e-05 0.00444732
0.4 0 3.00041e-05 0.00444732
0.48 0 2.76822e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 3
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000111034 8.68589e-06 0.00444732
0.08 6.56689e-05 9.64528e-06 0.00444732
0.1 5.52437e-05 1.03266e-05 0.00444732
0.12 4.82947e-05 1.07782e-05 0.00444732
0.14 4.33316e-05 1.11026e-05 0.00444732
0.16 3.96083e-05 1.37562e-05 0.00444732
0.18 3.56316e-05 1.47979e-05 0.00444732
0.2 3.27346e-05 1.29365e-05 0.00444732
0.24 2.83874e-05 1.61682e-05 0.00444732
0.32 2.26348e-05 1.79193e-05 0.00444732
0.4 0 3.06329e-05 0.00444732
0.48 0 3.07553e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 4
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000110817 8.92392e-06 0.00444732
0.08 6.52925e-05 1.00078e-05 0.00444732
0.1 5.48184e-05 1.07959e-05 0.00444732
0.12 4.78362e-05 1.13224e-05 0.00444732
0.14 4.28482e-05 1.17021e-05 0.00444732
0.16 3.91076e-05 1.43896e-05 0.00444732
0.18 3.50777e-05 1.3124e-05 0.00444732
0.2 3.21357e-05 1.61677e-05 0.00444732
0.24 2.7721e-05 1.71151e-05 0.00444732
0.32 2.18926e-05 1.88531e-05 0.00444732
0.4 0 2.91744e-05 0.00444732
0.48 0 3.17384e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 5
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000110405 9.41353e-06 0.00444732
0.08 6.47529e-05 1.31151e-05 0.00444732
0.1 5.41851e-05 1.16276e-05 0.00444732
0.12 4.71406e-05 1.46495e-05 0.00444732
0.14 4.21081e-05 1.50907e-05 0.00444732
0.16 3.83344e-05 1.30078e-05 0.00444732
0.18 3.42299e-05 1.42527e-05 0.00444732
0.2 3.12173e-05 1.73859e-05 0.00444732
0.24 2.66982e-05 1.60662e-05 0.00444732
0.32 2.07826e-05 2.06026e-05 0.00444732
0.4 0 3.05322e-05 0.00444732
0.48 0 3.07433e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 6
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.00010968 1.26053e-05 0.00444732
0.08 6.37844e-05 1.4276e-05 0.00444732
0.1 5.30149e-05 1.30928e-05 0.00444732
0.12 4.58345e-05 1.63094e-05 0.00444732
0.14 4.07055e-05 1.68901e-05 0.00444732
0.16 3.68592e-05 1.49177e-05 0.00444732
0.18 3.26676e-05 1.63969e-05 0.00444732
0.2 2.95833e-05 1.73249e-05 0.00444732
0.24 2.49572e-05 1.8699e-05 0.00444732
0.32 1.89452e-05 2.1127e-05 0.00444732
0.4 0 3.28629e-05 0.00444732
0.48 0 3.3139e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 7
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000108185 1.46843e-05 0.00444732
0.08 6.15757e-05 1.47964e-05 0.00444732
0.1 5.04686e-05 1.90829e-05 0.00444732
0.12 4.30627e-05 1.79343e-05 0.00444732
0.14 3.77726e-05 2.12292e-05 0.00444732
0.16 3.38064e-05 1.94922e-05 0.00444732
0.18 2.95556e-05 2.14109e-05 0.00444732
0.2 2.63753e-05 2.26912e-05 0.00444732
0.24 2.16061e-05 2.4651e-05 0.00444732
0.32 1.54883e-05 2.74749e-05 0.00444732
0.4 0 4.00677e-05 0.00444732
0.48 0 3.80672e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 8
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 UNDER
WIDTH Table 0 entries: 

Metal 9 UNDER 10

Metal 9 DIAGUNDER
WIDTH Table 0 entries: 

Metal 9 DIAGUNDER 10

Metal 9 OVERUNDER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 9 OVER 1 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 2 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 3 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 4 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 5 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 6 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 7 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 9 OVER 8 UNDER 10
DIST count 12 width 0.04
0.04 0.000100615 2.4023e-05 0.00444732
0.08 5.26824e-05 3.08302e-05 0.00444732
0.1 4.14821e-05 3.7173e-05 0.00444732
0.12 3.40132e-05 3.74921e-05 0.00444732
0.14 2.86805e-05 3.93637e-05 0.00444732
0.16 2.46793e-05 4.31714e-05 0.00444732
0.18 2.09075e-05 4.57769e-05 0.00444732
0.2 1.80527e-05 4.52297e-05 0.00444732
0.24 1.37691e-05 4.80577e-05 0.00444732
0.32 0 6.01121e-05 0.00444732
0.4 0 5.83416e-05 0.00444732
0.48 0 5.91183e-05 0.00444732
END DIST

Metal 10 RESOVER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 10 RESOVER 0
DIST count 9 width 0.04
0.0 0.0 0 0
0.0 0.04 0 0
0.0 0.08 0 0
0.04 0.0 0 0
0.04 0.04 0 0
0.04 0.08 0 0
0.08 0.0 0 0
0.08 0.04 0 0
0.08 0.08 0 0
END DIST

Metal 10 RESOVER 1
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 2
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 3
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 4
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 5
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 6
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 7
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 8
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 RESOVER 9
DIST count 0 width 0.04
END DIST

Metal 10 OVER
WIDTH Table 1 entries:  0.04

Metal 10 OVER 0
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 1
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 2
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 3
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 4
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 5
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 6
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 7
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 8
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 OVER 9
DIST count 2 width 0.04
0.04 0 0 0
0.08 0 0 0
END DIST

Metal 10 UNDER
WIDTH Table 0 entries: 

Metal 10 DIAGUNDER
WIDTH Table 0 entries: 
END DensityModel 0